双腔并联压电驱动无阀微泵的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题的提出 | 第8-9页 |
| ·微泵的国内外研究现状 | 第9-15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 压电无阀微泵的工作原理 | 第16-25页 |
| ·压电致动器原理 | 第16-21页 |
| ·压电效应和压电材料 | 第16-17页 |
| ·压电方程和压电常数 | 第17-19页 |
| ·圆形压电振子工作原理 | 第19-21页 |
| ·无阀微泵工作原理 | 第21-25页 |
| 3 无阀微泵的结构设计及其仿真分析 | 第25-47页 |
| ·微泵的结构设计 | 第25-26页 |
| ·微泵的仿真分析 | 第26-47页 |
| ·压电振子的仿真分析 | 第27-34页 |
| ·收缩/扩散管及泵腔的优化设计 | 第34-43页 |
| ·流固耦合仿真分析 | 第43-46页 |
| ·仿真结果分析及结构参数确定 | 第46-47页 |
| 4 双腔并联式无阀微泵的制作 | 第47-56页 |
| ·压电驱动器的组装 | 第47-48页 |
| ·收缩/扩散口的制作 | 第48-53页 |
| ·泵腔的制作 | 第53页 |
| ·微泵的封装 | 第53-56页 |
| 5 微泵的特性及其分析 | 第56-65页 |
| ·压电驱动器的性能测试 | 第56-59页 |
| ·压电振子位移的标定 | 第56-57页 |
| ·压电振子的振动特性 | 第57-59页 |
| ·微泵的泵送特性 | 第59-65页 |
| ·流量测试系统 | 第59-61页 |
| ·单腔微泵的泵送特性 | 第61-63页 |
| ·双腔微泵的泵送特性 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
