| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-32页 |
| ·全氟化物概况 | 第11-16页 |
| ·全氟化物的定义及性质 | 第11-12页 |
| ·全氟化物的来源及其应用 | 第12-14页 |
| ·全氟化物对环境及生态的影响 | 第14-16页 |
| ·全氟化物的控制措施 | 第16-23页 |
| ·燃烧分解 | 第19页 |
| ·催化热分解 | 第19-20页 |
| ·等离子体分解 | 第20-23页 |
| ·等离子体分解PFCS的研究现状和发展趋势 | 第23-30页 |
| ·本文研究意义和内容 | 第30-32页 |
| ·研究意义 | 第30页 |
| ·研究内容 | 第30-32页 |
| 第2章 常压下微波等离子体的发生 | 第32-46页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·微波等离子体发生原理 | 第33-40页 |
| ·微波与微波发尘源 | 第33页 |
| ·微波波导及电磁场分布 | 第33-39页 |
| ·电场分布及等离子体区域 | 第39-40页 |
| ·大气压微波等离子体反应器 | 第40-43页 |
| ·矩形波导的截面尺寸选择 | 第40-41页 |
| ·微波等离子体反应器的匹配特性 | 第41-42页 |
| ·微波等离子体反应器的结构 | 第42-43页 |
| ·大气压微波等离子体的激发与维持 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第3章 大气压微波等离子体特性的光谱诊断 | 第46-68页 |
| ·引言 | 第46-48页 |
| ·等离子体发射光谱诊断方法和原理 | 第46-48页 |
| ·实验装置和方法 | 第48-50页 |
| ·实验气体 | 第48页 |
| ·实验仪器和设备 | 第48-49页 |
| ·实验方法 | 第49-50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-66页 |
| ·电子激发温度和电子密度的空间分布 | 第50-55页 |
| ·微波输入功率对电子激发温度和电子密度的影响 | 第55-58页 |
| ·激发态粒子随氧气添加量的变化 | 第58-62页 |
| ·微波功率对各种激发态粒子的影响 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第4章 大气压微波等离子体分解CF_4的效果 | 第68-86页 |
| ·引言 | 第68页 |
| ·实验装置和方法 | 第68-70页 |
| ·实验气体 | 第68页 |
| ·实验仪器和设备 | 第68-69页 |
| ·实验方法 | 第69-70页 |
| ·结果与讨论 | 第70-84页 |
| ·微波氩气等离子体去除CF_4的效果 | 第70-74页 |
| ·微波氮气等离子体去除CF_4的效果 | 第74-81页 |
| ·CF_4在大气压微波等离子体中的分解产物分析 | 第81-84页 |
| ·本章小结 | 第84-86页 |
| 第5章 CF_4在大气压微波等离子体中分解机理的研究 | 第86-101页 |
| ·引言 | 第86-87页 |
| ·高能电子碰撞分解机理 | 第87-88页 |
| ·自由基反应机理 | 第88-95页 |
| ·热分解作用 | 第95-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 第6章 大气压微波等离子体与催化剂协同作用分解CF_4 | 第101-116页 |
| ·引言 | 第101-102页 |
| ·实验装置和方法 | 第102-103页 |
| ·实验气体 | 第102页 |
| ·实验设备及仪器 | 第102页 |
| ·实验所用催化剂 | 第102页 |
| ·实验方法 | 第102-103页 |
| ·结果与讨论 | 第103-114页 |
| ·微波等离子体与TiO_2催化剂的协同催化降解效果 | 第103-106页 |
| ·微波等离子体与Al_2O_3催化剂的协同催化降解效果 | 第106-113页 |
| ·多种催化剂与等离子体组合去除CF_4的对比 | 第113页 |
| ·能量利用效率 | 第113-114页 |
| ·本章小结 | 第114-116页 |
| 结论 | 第116-119页 |
| 参考文献 | 第119-130页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第130-131页 |
| 致谢 | 第131页 |
