衬底温度和激光强度对PLD制备ZnO薄膜性质影响的研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-17页 |
| ·ZnO 薄膜的性质 | 第8-11页 |
| ·ZnO 的结构性质 | 第8-9页 |
| ·ZnO 的电学性质 | 第9-10页 |
| ·ZnO 的光学性质 | 第10-11页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第11-14页 |
| ·脉冲激光沉积（PLD） | 第11-12页 |
| ·金属有机物化学气相沉积（MOCVD） | 第12页 |
| ·分子束外延（MBE） | 第12-13页 |
| ·溅射（Sputtering） | 第13页 |
| ·溶胶-凝胶法（Sol-gel） | 第13-14页 |
| ·ZnO 薄膜的测试表征 | 第14-16页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第14页 |
| ·X 射线衍射谱（X-ray） | 第14-15页 |
| ·光致发光谱（PL） | 第15页 |
| ·拉曼光谱（Raman） | 第15-16页 |
| ·ZnO 薄膜的主要用途 | 第16-17页 |
| 第二章 ZnO 薄膜的制备与表征 | 第17-20页 |
| ·实验设备 | 第17-18页 |
| ·实验材料的准备 | 第18页 |
| ·衬底及预处理 | 第18页 |
| ·靶材的制备 | 第18页 |
| ·脉冲激光沉积的物理过程 | 第18-19页 |
| ·样品的测试和表征 | 第19-20页 |
| 第三章 衬底温度对ZnO薄膜的影响 | 第20-25页 |
| ·衬底温度对ZnO 薄膜结构的影响 | 第20-22页 |
| ·衬底温度对ZnO 薄膜光致发光的影响 | 第22-23页 |
| ·衬底温度对 ZnO 薄膜拉曼的影响 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第四章 激光强度对ZnO 薄膜的影响 | 第25-29页 |
| ·激光强度对ZnO 薄膜结构的影响 | 第25-27页 |
| ·激光强度对ZnO 薄膜光致发光的影响 | 第27页 |
| ·激光强度对ZnO 薄膜厚度的影响 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第五章 结论 | 第29-30页 |
| ·本文的主要研究结果 | 第29页 |
| ·对今后工作的展望 | 第29-30页 |
| 参考文献 | 第30-34页 |
| 致谢 | 第34-35页 |
| 硕士期间发表论文 | 第35页 |
