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MOCVD法制备MgxZn1-xO薄膜及其热稳定性研究

中文摘要第1-5页
英文摘要第5-7页
第一章引言第7-13页
   ·用于信息存储的激光器件的发展历史第7-8页
   ·Mg_xZn_(1-x)O 材料的基本特性第8-10页
   ·Mg_xZn_(1-x)O 的制备方法第10-11页
   ·Mg_xZn_(1-x)O 的应用研究第11-13页
第二章 制备和表征方法介绍第13-20页
   ·MOCVD 设备原理和结构第13页
   ·热退火装置的结构第13-14页
   ·X 射线衍射的原理第14-15页
   ·吸收光谱第15-17页
   ·微区拉曼及光致发光光谱第17-20页
第三章 Mg_xZn_(1-x)O 薄膜的制备及其结构表征与光学性质研究第20-29页
   ·Mg_xZn_(1-x)O 薄膜的制备第20-21页
   ·Mg 含量对 Mg_xZn_(1-x)O 薄膜结构的影响第21-23页
   ·Mg 含量对 Mg_xZn_(1-x)O 薄膜光学性质的影响第23-25页
   ·小结第25-29页
第四章 高 Mg 含量六角相 Mg_xZn_(1-x)O 薄膜的热稳定性研究第29-36页
   ·退火温度对 Mg_xZn_(1-x)O 薄膜的结构的影响第29-31页
   ·退火温度对 Mg_xZn_(1-x)O 薄膜的光学性质的影响第31-35页
   ·小结第35-36页
第五章 结论第36-37页
参考文献第37-39页
致谢第39-40页
在学期间公开发表论文及著作情况第40页

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