| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-11页 |
| 引言 | 第11-12页 |
| 1 绪论 | 第12-27页 |
| ·A1N薄膜的概述 | 第12-21页 |
| ·A1N薄膜的物理性质 | 第21-25页 |
| ·本论文的主要工作 | 第25-27页 |
| 2 薄膜制备及其分析方法 | 第27-41页 |
| ·薄膜制备方法 | 第27-32页 |
| ·试验设备 | 第32-33页 |
| ·薄膜质量的研究方法 | 第33-41页 |
| 3 A1N薄膜的表面形貌和结构分析 | 第41-59页 |
| ·不同衬底上制备的A1N薄膜的表面形貌和结构分析 | 第41-45页 |
| ·不同衬底温度下的A1N薄膜的表面形貌和结构分析 | 第45-52页 |
| ·不同退火温度下沉积的A1N薄膜的表面形貌和结构分析 | 第52-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 4 A1N薄膜的光学性质 | 第59-68页 |
| ·A1N薄膜的光谱拟合 | 第60页 |
| ·拟合公式 | 第60-62页 |
| ·光学模型 | 第62-63页 |
| ·不同衬底上沉积A1N薄膜的光学性能 | 第63-65页 |
| ·不同退火温度下沉积A1N薄膜的光学性能 | 第65-67页 |
| ·分析与讨论 | 第67-68页 |
| 5 A1N薄膜的光致发光性能 | 第68-78页 |
| ·玻璃衬底上沉积A1N薄膜的发光特性分析 | 第71-74页 |
| ·石英衬底上不同退火温度下沉积A1N薄膜的发光特性分析 | 第74-75页 |
| ·硅衬底上沉积A1N薄膜的发光特性分析 | 第75-77页 |
| ·分析与结论 | 第77-78页 |
| 6 结论与展望 | 第78-81页 |
| 参考文献 | 第81-86页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第86-89页 |
| 致谢 | 第89页 |