MEMS可重构定向耦合器的研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| ·概述 | 第11-12页 |
| ·MEMS可重构定向耦合器的研究进展以及现状 | 第12-14页 |
| ·本论文的主要研究工作及创新之处 | 第14-16页 |
| 第二章 微带定向耦合器基本理论 | 第16-25页 |
| ·概述 | 第16页 |
| ·耦合微带线的设计原理 | 第16-22页 |
| ·概述 | 第16-17页 |
| ·耦合线理论与奇偶模分析方法 | 第17-21页 |
| ·耦合微带线特性 | 第21-22页 |
| ·定向耦合器的基本技术参数 | 第22-25页 |
| ·概述 | 第22页 |
| ·定向耦合器的S参量 | 第22-23页 |
| ·定向耦合器的技术参数 | 第23-25页 |
| 第三章 RF MEMS开关理论 | 第25-37页 |
| ·MEMS技术和RF开关理论 | 第25-27页 |
| ·RF MEMS开关基本原理 | 第27-33页 |
| ·开关设计的关键尺寸 | 第28-29页 |
| ·串联电阻接触型MEMS开关 | 第29-31页 |
| ·并联电容式MEMS开关 | 第31-33页 |
| ·悬臂梁式MEMS开关设计与工艺制作 | 第33-36页 |
| ·悬臂梁式开关的设计 | 第33-34页 |
| ·悬臂梁式开关的工艺制作 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 MEMS可重构平行线定向耦合器 | 第37-44页 |
| ·概述 | 第37页 |
| ·MEMS不对称平行耦合线 | 第37-40页 |
| ·概述 | 第37-38页 |
| ·MEMS不对称平行耦合线结构和理论分析 | 第38-40页 |
| ·MEMS可重构耦合线结构 | 第40-43页 |
| ·概述 | 第40页 |
| ·MEMS可重构耦合线结构设计 | 第40-41页 |
| ·MEMS可重构耦合线仿真分析 | 第41-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第五章 介质加载MEMS可重构定向耦合器 | 第44-61页 |
| ·概述 | 第44页 |
| ·介质加载耦合线 | 第44-49页 |
| ·介质加载耦合线结构以及等效电路 | 第44-48页 |
| ·介质加载定向耦合器仿真分析 | 第48-49页 |
| ·MEMS可重构介质加载定向耦合器 | 第49-61页 |
| ·MEMS可重构介质加载定向耦合器结构 | 第49-50页 |
| ·MEMS可重构介质加载定向耦合器性能分析 | 第50-59页 |
| ·MEMS可重构定向耦合器最终版图以及仿真结果 | 第59-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·本论文总结 | 第61页 |
| ·展望 | 第61-63页 |
| 作者研究生期间发表的论文 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
