单片微波微等离子体源的集成与封装研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第10-12页 |
| ·微波等离子体源的发展现状 | 第12-14页 |
| ·论文的研究内容和创新之处 | 第14-16页 |
| 第二章 微波负阻振荡器理论 | 第16-25页 |
| ·振荡器的基本结构 | 第16-17页 |
| ·反馈振荡器 | 第17页 |
| ·负阻振荡器 | 第17-24页 |
| ·总结 | 第24-25页 |
| 第三章 微波晶体管振荡器的设计 | 第25-38页 |
| ·S参数设计双端口振荡器的基本方法 | 第25-26页 |
| ·设计优化仿真软件简介 | 第26-27页 |
| ·2.45GHz振荡器设计 | 第27-36页 |
| ·版图设计 | 第36页 |
| ·总结 | 第36-38页 |
| 第四章 CMOS集成振荡器设计 | 第38-48页 |
| ·集成振荡器工艺的选择 | 第38页 |
| ·CMOS工艺下的负阻振荡器 | 第38-42页 |
| ·片上集成螺旋电感 | 第42-44页 |
| ·2.45GHz LC振荡器的实现 | 第44-46页 |
| ·版图设计 | 第46-47页 |
| ·总结 | 第47-48页 |
| 第五章 单片微波微等离子体源的集成与封装 | 第48-54页 |
| ·单片微波微等离子体源的集成 | 第48-49页 |
| ·单片微等离子体源的封装研究 | 第49-50页 |
| ·MSRR等离子体源激发后仿真 | 第50-54页 |
| 第六章 总结和展望 | 第54-55页 |
| ·本文工作总结 | 第54页 |
| ·进一步工作展望 | 第54-55页 |
| 附录 | 第55-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 作者研究生期间发表的论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
