| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-29页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·太阳能电池的研究现状 | 第11-20页 |
| ·国外太阳电池的发展及趋势 | 第11-13页 |
| ·我国太阳电池的发展及趋势 | 第13-15页 |
| ·太阳能电池材料的研究现状 | 第15-17页 |
| ·太阳能电池的分类 | 第17-20页 |
| ·CuO 薄膜的特性 | 第20-21页 |
| ·CuO 薄膜的晶体结构 | 第20-21页 |
| ·CuO 薄膜的光电特性 | 第21页 |
| ·CuO 薄膜的其他性质 | 第21页 |
| ·CuO 薄膜的制备方法 | 第21-27页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第22-23页 |
| ·化学气相沉积法 | 第23-24页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第24-25页 |
| ·磁控溅射法 | 第25-26页 |
| ·热蒸发法 | 第26-27页 |
| ·本文研究的目的及内容 | 第27-29页 |
| 第2章 薄膜的制备过程及性能表征 | 第29-36页 |
| ·实验方法及原理 | 第29-34页 |
| ·直流磁控溅射法 | 第29-32页 |
| ·热蒸发法 | 第32-34页 |
| ·薄膜性能的表征 | 第34-36页 |
| ·薄膜结构性能的测试 | 第34页 |
| ·薄膜光学性能的测试 | 第34页 |
| ·薄膜电学性能的测试 | 第34页 |
| ·薄膜形貌的测试 | 第34-35页 |
| ·薄膜膜厚的测试 | 第35-36页 |
| 第3章 磁控溅射法制备CuO 薄膜 | 第36-46页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第36-37页 |
| ·薄膜制备的准备工作 | 第36页 |
| ·CuO 薄膜制备 | 第36-37页 |
| ·实验结果与讨论 | 第37-45页 |
| ·0_2 /Ar 流量比对薄膜性能的影响 | 第37-39页 |
| ·衬底温度对薄膜性能的影响 | 第39-42页 |
| ·沉积时间对薄膜性能的影响 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 热蒸发法制备CuO 薄膜 | 第46-60页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第46-48页 |
| ·热蒸发镀膜工艺 | 第46-47页 |
| ·热处理工艺 | 第47-48页 |
| ·实验结果与讨论 | 第48-58页 |
| ·热处理温度对CuO 薄膜性能的影响 | 第48-51页 |
| ·热处理时间对CuO 薄膜性能的影响 | 第51-54页 |
| ·厚度对CuO 薄膜性能的影响 | 第54-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第5章 热蒸发制备太阳能电池 | 第60-69页 |
| ·太阳能电池基础 | 第60-63页 |
| ·太阳能电池的工作原理 | 第60-61页 |
| ·太阳能电池主要性能参数 | 第61-63页 |
| ·太阳能电池的制备工艺 | 第63-64页 |
| ·太阳能电池的性能测试 | 第64-68页 |
| ·CuO 薄膜的结构特性 | 第64页 |
| ·Cu/p-CuO 的I-V 特性 | 第64-65页 |
| ·Cu/p-CuO/n-Si 太阳能电池I-V 特性 | 第65-66页 |
| ·Cu/p-CuO/n-Si 太阳能电池的光谱响应 | 第66页 |
| ·CuO 薄膜厚度对Cu/p-CuO/n-Si 太阳能电池的影响 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 结论 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-78页 |
| 附录 | 第78页 |
