紫外激光微细加工实验研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-12页 |
| ·课题的背景及研究的目的和意义 | 第7-9页 |
| ·国内外的研究现状和成果分析 | 第9-11页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第11-12页 |
| 第2章 紫外激光与材料作用机理 | 第12-28页 |
| ·紫外激光与材料作用机理概述 | 第12-13页 |
| ·消融方式概述 | 第13-15页 |
| ·光热消融 | 第13-14页 |
| ·光化学消融 | 第14-15页 |
| ·紫外激光微细加工的影响因素分析 | 第15-20页 |
| ·激光系统参数的作用 | 第15-17页 |
| ·等离子体的作用 | 第17页 |
| ·冲击波的作用 | 第17-19页 |
| ·物质理化性质变化的影响 | 第19页 |
| ·其它条件的影响 | 第19-20页 |
| ·紫外激光与材料作用的数理模型 | 第20-22页 |
| ·光化学消融模型 | 第20-21页 |
| ·光热消融模型 | 第21页 |
| ·SSB 消融模型 | 第21-22页 |
| ·等离子体消融模型 | 第22页 |
| ·消融阈值分析与微观模型的构建 | 第22-27页 |
| ·消融阈值分析 | 第23-24页 |
| ·作用模型的微观机制 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 实验研究 | 第28-41页 |
| ·实验装置 | 第28页 |
| ·光路调整 | 第28-30页 |
| ·光束调整 | 第28-29页 |
| ·共线调整 | 第29页 |
| ·主副光斑问题 | 第29-30页 |
| ·实验结果与分析 | 第30-38页 |
| ·紫外激光加工各材料的划切质量对比 | 第30-31页 |
| ·入射激光能量密度对蓝宝石划切质量的影响 | 第31-33页 |
| ·工艺参数对切槽深度的影响 | 第33-35页 |
| ·工艺参数对切槽宽度的影响 | 第35-37页 |
| ·划切的微观分析 | 第37页 |
| ·划切区域质量影响因素分析 | 第37-38页 |
| ·微细件加工 | 第38-39页 |
| ·激光参数的选择 | 第38-39页 |
| ·结果分析 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 工艺参数库的建立 | 第41-49页 |
| ·工艺参数库概述 | 第41页 |
| ·数据库结构设计 | 第41-42页 |
| ·参数查询模块分析 | 第42-46页 |
| ·寻优方法实现 | 第43-45页 |
| ·查询错误控制 | 第45-46页 |
| ·参数维护模块分析 | 第46-47页 |
| ·参数预测模块分析 | 第47页 |
| ·程序运行示例 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
