| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·传统激光干涉微位移测量技术的发展及存在的问题 | 第10-11页 |
| ·激光自混合干涉技术的兴起 | 第11-13页 |
| ·激光自混合干涉技术各国研究现状 | 第13-15页 |
| ·自混合干涉应用研究 | 第15-19页 |
| ·位移测量 | 第15-18页 |
| ·绝对距离的测量 | 第18-19页 |
| ·主要研究内容及意义 | 第19-21页 |
| 第2章 半导体激光自混合干涉机理 | 第21-40页 |
| ·自混合干涉模型 | 第21-39页 |
| ·三镜F-P 腔模型 | 第21-25页 |
| ·速率方程 | 第25-29页 |
| ·激光自混合干涉位移测量模型数值模拟 | 第29-31页 |
| ·光反馈强度不同时相位方程的特性 | 第31-35页 |
| ·位移测量模型的参数对功率信号的影响 | 第35-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 基于半导体激光自混合干涉的微位移检测系统的设计 | 第40-54页 |
| ·检测系统总体方案 | 第40-42页 |
| ·系统硬件电路 | 第42-50页 |
| ·LD 调制电路 | 第42-45页 |
| ·光电信号放大电路 | 第45-46页 |
| ·滤波电路 | 第46-47页 |
| ·信号调理电路电路 | 第47-48页 |
| ·A/D 转换电路 | 第48-49页 |
| ·RS-232 模块电路 | 第49-50页 |
| ·PID 的控制系统 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 FPGA 数字信号处理部分及上位机程序的设计与仿真 | 第54-72页 |
| ·基于FPGA 的数字信号处理部分 | 第54-66页 |
| ·FPGA 简介及工作原理 | 第54-55页 |
| ·AD 控制部分 | 第55-57页 |
| ·正负脉冲计数及处理部分 | 第57-58页 |
| ·串口通信部分 | 第58-63页 |
| ·PID 控制部分 | 第63-66页 |
| ·上位机程序的设计 | 第66-71页 |
| ·串口数据接收及数据处理部分 | 第67-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第5章 微位移检测数据处理及通信仿真实验 | 第72-77页 |
| ·下位机各模块仿真实验 | 第72-75页 |
| ·正负脉冲计数及处理部分仿真 | 第72-73页 |
| ·通信部分仿真 | 第73-75页 |
| ·上位机程序仿真实验 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 结论 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 作者简介 | 第84页 |