| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-22页 |
| ·课题的研究意义和目的 | 第11-12页 |
| ·超精密表面形貌测量研究现状 | 第12-19页 |
| ·作者主要工作及创新、课题来源 | 第19-22页 |
| 2 基于白光干涉超精密表面形貌测量方法及理论研究 | 第22-39页 |
| ·测量方法 | 第22-24页 |
| ·原子力探针测量基本理论 | 第24-28页 |
| ·白光干涉微悬臂变形量检测原理 | 第28-34页 |
| ·数据融合工作模式 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 3 基于白光干涉超精密表面形貌测量系统研制 | 第39-51页 |
| ·测量系统的组成 | 第39-40页 |
| ·显微干涉非接触测量方法 | 第40-47页 |
| ·电路设计和测量系统软件 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 4 白光干涉计量型原子力探针测量研究 | 第51-68页 |
| ·白光干涉位移计量图像处理方法研究 | 第51-56页 |
| ·白光干涉悬微臂变形量检测及非线性误差修正 | 第56-60页 |
| ·原子力探针及其特性分析 | 第60-62页 |
| ·白光干涉原子力探针测头设计及性能分析 | 第62-64页 |
| ·白光干涉原子力探针接触式扫描测量的实现 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 5 大量程计量型纳米驱动系统 | 第68-92页 |
| ·引言 | 第68-70页 |
| ·大量程计量型纳米级垂直扫描系统 | 第70-79页 |
| ·共运动平面X-Y二维精密工作台 | 第79-90页 |
| ·本章小结 | 第90-92页 |
| 6 激光干涉位移计量系统及信号接收与处理 | 第92-108页 |
| ·激光干涉位移计量系统工作原理 | 第92-94页 |
| ·四象限光电管接收激光干涉条纹的正交条件及非正交误差分析 | 第94-99页 |
| ·激光干涉条纹的误差分析及实时补偿 | 第99-104页 |
| ·激光干涉位移计量系统误差分析及精度测试 | 第104-106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 7 精度实验与应用实例 | 第108-119页 |
| ·测量系统的精度实验 | 第108-115页 |
| ·应用实例 | 第115-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 8 总结与展望 | 第119-122页 |
| ·全文总结 | 第119-121页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第121-122页 |
| 致谢 | 第122-123页 |
| 参考文献 | 第123-132页 |
| 附录1 攻读博士学位期间科研成果目录 | 第132-134页 |
| 附录2 测控电路实物图 | 第134-135页 |
| 附录3 垂直扫描系统对比实验图 | 第135-136页 |
| 附录4 二维工作台对比实验图 | 第136-137页 |
| 附录5 激光干涉系统分辨率实验图 | 第137页 |