SNOM中折射率定标与提高扫速和对比度研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 引言 | 第12-13页 |
| 1 绪论 | 第13-36页 |
| ·扫描隧道显微镜 | 第13-16页 |
| ·STM中的隧道效应 | 第13-14页 |
| ·STM仪器构成 | 第14-15页 |
| ·STM原子分辨原理 | 第15-16页 |
| ·原子力显微镜 | 第16-24页 |
| ·AFM探针—样品间作用力 | 第16-19页 |
| ·AFM试验装置及悬臂形变检测方法 | 第19-20页 |
| ·AFM的操作模式 | 第20-24页 |
| ·AFM实现原子分辨的机理 | 第24页 |
| ·扫描近场光学显微镜成像理论概述 | 第24-31页 |
| ·衍射极限和不确定性原理 | 第24-27页 |
| ·近场光学显微镜早期发展 | 第27-28页 |
| ·使用傅立叶光学分析样品精细结构 | 第28-31页 |
| ·扫描近场光学显微镜仪器研究 | 第31-33页 |
| ·SNOM仪器基本部件 | 第32页 |
| ·SNOM仪器分类 | 第32-33页 |
| ·组合扫描近场光学显微镜 | 第33-34页 |
| ·小结 | 第34-36页 |
| 2 近场光学显微镜构造 | 第36-53页 |
| ·SNOM的硬件构成 | 第36-44页 |
| ·光纤探针对成像质量的影响 | 第36-38页 |
| ·光纤探针的研制 | 第38-41页 |
| ·机械扫描用压电陶瓷管 | 第41-42页 |
| ·扫描控制电路 | 第42-44页 |
| ·软件设计 | 第44-48页 |
| ·PC端控制性任务 | 第44-45页 |
| ·DSP端实时性任务 | 第45-46页 |
| ·控制器算法 | 第46-48页 |
| ·扫描图像处理 | 第48-51页 |
| ·硬件采用对称照明消除假象 | 第48-49页 |
| ·图像软件滤波 | 第49-51页 |
| ·SNOM仪器研制存在的问题 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 3 折射率可定标的AF/PSTM系统设计与试验 | 第53-70页 |
| ·光子扫描隧道显微镜 | 第53-55页 |
| ·计算样品折射率与表面倾角原理 | 第55-57页 |
| ·近场光学显微镜探测样品折射率现状 | 第55-56页 |
| ·新AF/PSTM系统测定折射率定标的原理 | 第56-57页 |
| ·实验装置和时序同步 | 第57-64页 |
| ·实验研究 | 第64-69页 |
| ·双光束照明隐失场的探测与讨论 | 第64-68页 |
| ·扫描图像分析 | 第68-69页 |
| ·小结 | 第69-70页 |
| 4 提高AF/PSTM成像扫描速度和灵敏度 | 第70-98页 |
| ·SNOM探针/样品间距控制方法 | 第70-71页 |
| ·动态扫描探针显微镜分类 | 第71-80页 |
| ·检测控制探针振幅模式 | 第72-75页 |
| ·检测控制探针频率模式 | 第75-77页 |
| ·检测控制探针相位模式 | 第77-80页 |
| ·使用FM方法加快PSTM扫描速度的实验 | 第80-91页 |
| ·探针的频率特性 | 第80-81页 |
| ·检测控制探针振幅的设计 | 第81-83页 |
| ·检测控制探针频率模式改进仪器性能 | 第83-89页 |
| ·检测控制探针频率模式改进仪器试验测试 | 第89-91页 |
| ·压电微悬臂/光纤探针提高PSTM扫描精度 | 第91-97页 |
| ·压电微悬臂/光纤组合探针的制备 | 第92-96页 |
| ·组合探针提高扫描精度的试验测试 | 第96-97页 |
| ·小结 | 第97-98页 |
| 5 小振幅反射式近场扫描光学显微镜 | 第98-105页 |
| ·反射式近场扫描光学显微镜 | 第98-100页 |
| ·RSNOM中的反射和散射本底噪声 | 第100-101页 |
| ·小振幅振荡AF/RSNOM | 第101-102页 |
| ·实验研究 | 第102-104页 |
| ·小结 | 第104-105页 |
| 结论 | 第105-107页 |
| 研究总结 | 第105-106页 |
| 后续工作 | 第106页 |
| 展望 | 第106页 |
| 创新点摘要 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-116页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117-119页 |
