| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 课题研究的意义 | 第10-11页 |
| 1.2 气体传感器概述 | 第11-16页 |
| 1.2.1 气体传感器的分类 | 第11-15页 |
| 1.2.2 半导体气体传感器的特性参数 | 第15-16页 |
| 1.3 金属氧化物半导体气体传感器概述 | 第16-21页 |
| 1.3.1 金属氧化物半导体气体传感器的气敏机理 | 第16-18页 |
| 1.3.2 金属氧化物半导体气体传感器的商业现状 | 第18-21页 |
| 1.3.3 金属氧化物半导体气体传感器的研究现状 | 第21页 |
| 1.4 本文主要研究内容与创新点 | 第21-23页 |
| 第二章 实验过程 | 第23-31页 |
| 2.1 实验流程 | 第23页 |
| 2.2 样品制备流程 | 第23-26页 |
| 2.2.1 材料制备 | 第24-25页 |
| 2.2.2 烧结 | 第25-26页 |
| 2.2.3 制备电极 | 第26页 |
| 2.3 表征手段 | 第26-29页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD) | 第27页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第27-28页 |
| 2.3.3 X射线电子显微镜(TEM) | 第28页 |
| 2.3.4 X射线光电子能谱分析(XPS) | 第28-29页 |
| 2.4 测试系统 | 第29-31页 |
| 第三章 Pt-Fe_2O_3复合纳米陶瓷的制备与室温氢敏性能研究 | 第31-39页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 Pt-Fe_2O_3复合纳米陶瓷的制备 | 第31-32页 |
| 3.3 Pt-Fe_2O_3复合纳米陶瓷的表征分析 | 第32-34页 |
| 3.4 Pt-Fe_2O_3复合纳米陶瓷的氢敏性能分析 | 第34-35页 |
| 3.5 Pt-Fe_2O_3复合纳米陶瓷的氢敏机理研究 | 第35-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 Pd-SnO_2复合纳米陶瓷的制备与室温一氧化碳气敏性能研究 | 第39-51页 |
| 4.1 引言 | 第39-40页 |
| 4.2 Pd-SnO_2复合纳米陶瓷的制备 | 第40-41页 |
| 4.3 Pd-SnO_2复合纳米陶瓷的CO气敏表征分析 | 第41-43页 |
| 4.4 Pd-SnO_2复合纳米陶瓷的CO气敏性能分析 | 第43-47页 |
| 4.5 Pd-SnO_2复合纳米陶瓷的CO气敏机理研究 | 第47-50页 |
| 4.6 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 结论与展望 | 第51-53页 |
| 5.1 结论 | 第51-52页 |
| 5.2 展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60-61页 |
