| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 空心阴极放电 | 第8页 |
| 1.2 电子加热和电离机制 | 第8-9页 |
| 1.3 射频微空心阴极放电 | 第9-10页 |
| 1.4 研究背景 | 第10-13页 |
| 1.5 本文创新性 | 第13-14页 |
| 2 氮气射频微空心阴极放电的PIC/MCC模型 | 第14-22页 |
| 2.1 放电装置及模拟流程 | 第14-16页 |
| 2.2 初始状态安置 | 第16页 |
| 2.3 二维泊松方程和电势边界条件 | 第16-17页 |
| 2.4 双时标法 | 第17页 |
| 2.5 Monte Carlo Collision模型 | 第17-20页 |
| 2.6 气体流速及其影响 | 第20-22页 |
| 3 射频微空心阴极放电PIC/MCC模拟研究 | 第22-41页 |
| 3.1 射频微空心阴极放电特征 | 第22-32页 |
| 3.1.1 电场的二维分布 | 第22-25页 |
| 3.1.2 粒子(e~-,N_2~+,N~+)密度分布 | 第25-27页 |
| 3.1.3 粒子(e~-,N_2~+,N~+)能量分布 | 第27-28页 |
| 3.1.4 离子(N_2~+,N~+)流密度分布 | 第28-31页 |
| 3.1.5 小结 | 第31-32页 |
| 3.2 射频微空心阴极效应的研究 | 第32-41页 |
| 3.2.1 阴极孔径对空心阴极效应的影响 | 第32-35页 |
| 3.2.2 射频电压对空心阴极效应的影响 | 第35-39页 |
| 3.2.3 实验比较 | 第39-40页 |
| 3.2.4 小结 | 第40-41页 |
| 4 气体流速对N_2射频空心阴极放电影响的模拟结果 | 第41-56页 |
| 4.1 电场分布 | 第41-44页 |
| 4.2 粒子(e~-,N_2~+)密度 | 第44-45页 |
| 4.3 离子(N_2~+,N~+)能量 | 第45-48页 |
| 4.4 离子(N_2~+,N~+)流密度 | 第48-51页 |
| 4.5 射频周期内的电势、电场分布与离子能量 | 第51-55页 |
| 4.5.1 射频周期内的电势和电场分布 | 第51-53页 |
| 4.5.2 射频周期内的离子能量 | 第53-55页 |
| 4.6 小结 | 第55-56页 |
| 5 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读学位期间取得的科研成果清单 | 第65页 |
