| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 本文研究背景及意义 | 第9-12页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.4 本文的主要工作及内容安排 | 第16-18页 |
| 第2章 驱动与定位控制系统的总体设计 | 第18-30页 |
| 2.1 压电执行器特性 | 第18-20页 |
| 2.1.1 压电陶瓷的迟滞特性 | 第18-19页 |
| 2.1.2 压电陶瓷的蠕变特性 | 第19-20页 |
| 2.1.3 压电陶瓷的温度特性 | 第20页 |
| 2.2 压电执行器驱动电源方案选择 | 第20-23页 |
| 2.2.1 电压驱动型驱动方案 | 第20-22页 |
| 2.2.2 电流驱动型驱动方案 | 第22-23页 |
| 2.2.3 驱动方案比较 | 第23页 |
| 2.3 压电陶瓷迟滞模型选择 | 第23-27页 |
| 2.4 压电陶瓷控制方案选择 | 第27-29页 |
| 2.5 系统总体设计 | 第29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 压电执行器驱动电源的设计 | 第30-46页 |
| 3.1 压电执行器驱动电源的总体模块设计 | 第30-31页 |
| 3.2 主控制芯片选择及其最小系统 | 第31-32页 |
| 3.3 直流电源模块设计 | 第32-37页 |
| 3.4 充放电模块设计 | 第37-42页 |
| 3.5 采样反馈模块设计 | 第42-43页 |
| 3.6 压电执行器驱动策略设计 | 第43-44页 |
| 3.7 驱动电源模块性能测试 | 第44-45页 |
| 3.8 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 压电执行器控制模块的设计 | 第46-58页 |
| 4.1 压电执行器的Bouc-Wen模型和参数辨识 | 第46-50页 |
| 4.2 基于Bouc-Wen模型的前馈补偿设计 | 第50-52页 |
| 4.3 基于PI的反馈控制设计 | 第52-54页 |
| 4.4 前馈补偿与PI反馈的混合控制设计 | 第54-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 测试结果与分析 | 第58-64页 |
| 5.1 压电执行器驱动控制系统 | 第58-59页 |
| 5.2 定位系统的性能测试试验 | 第59-62页 |
| 5.2.1 静态特性试验 | 第59-60页 |
| 5.2.2 动态特性试验 | 第60-62页 |
| 5.3 影响控制精度的因素分析 | 第62-64页 |
| 第6章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 工作总结 | 第64-65页 |
| 6.2 工作展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |