| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究背景及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 磁悬浮平面电机研发现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 磁悬浮平面电机结构与原理 | 第10-13页 |
| 1.2.2 磁悬浮平面电机运动控制技术 | 第13-15页 |
| 1.3 论文研究的内容及结构安排 | 第15-16页 |
| 第2章 磁悬浮平面电机动力学建模 | 第16-22页 |
| 2.1 六自由度动力学建模 | 第16-18页 |
| 2.2 悬浮自由度重力补偿模型 | 第18-20页 |
| 2.3 三自由度状态空间模型与传递函数矩阵分式模型 | 第20-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 基于内模原理的无静差跟踪控制系统设计 | 第22-39页 |
| 3.1 无静差跟踪问题 | 第22-24页 |
| 3.2 内模及内模原理 | 第24-25页 |
| 3.3 控制系统性能要求 | 第25-26页 |
| 3.4 基于内模原理的状态反馈无静差跟踪控制系统设计 | 第26-31页 |
| 3.4.1 状态反馈极点配置 | 第27-28页 |
| 3.4.2 无静差跟踪控制系统设计 | 第28-31页 |
| 3.5 基于内模原理的输出反馈无静差跟踪控制系统设计 | 第31-38页 |
| 3.5.1 输出反馈无静差跟踪控制可实现性 | 第31-34页 |
| 3.5.2 输出反馈无静差跟踪控制综合补偿器设计 | 第34-36页 |
| 3.5.3 输出反馈极点配置补偿器求解 | 第36-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 三自由度磁悬浮平面电机无静差跟踪控制仿真实验 | 第39-57页 |
| 4.1 状态反馈闭环系统三自由度初始状态响应仿真 | 第39-40页 |
| 4.2 基于内模原理状态反馈无静差跟踪控制系统仿真实验 | 第40-49页 |
| 4.2.1 悬浮自由度动态性能和轨迹跟踪性能仿真 | 第41-45页 |
| 4.2.2 x向平动自由度动态性能和轨迹跟踪性能仿真 | 第45-47页 |
| 4.2.3 绕z轴旋转自由度动态性能和轨迹跟踪性能仿真 | 第47-49页 |
| 4.3 基于内模原理输出反馈无静差跟踪控制系统仿真实验 | 第49-56页 |
| 4.3.1 悬浮自由度动态性能及轨迹跟踪性能仿真 | 第50-52页 |
| 4.3.2 x向平动自由度动态性能及轨迹跟踪性能仿真 | 第52-54页 |
| 4.3.3 绕z轴旋转自由度动态性能及轨迹跟踪性能仿真 | 第54-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 总结与展望 | 第57-58页 |
| 5.1 论文主要内容总结 | 第57页 |
| 5.2 展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及参与的科研项目 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
