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非补偿Fe-Sn共掺杂In2O3薄膜和纳米点阵列性质的研究

中文摘要第3-5页
ABSTRACT第5-6页
1 绪论第9-17页
    1.1 引言第9-10页
    1.2 In_2O_3的结构和性质第10-11页
    1.3 3d过渡金属掺杂In_2O_3磁性的研究第11-13页
    1.4 Sn掺杂In_2O_3局域表面等离子共振性质的研究第13-15页
        1.4.1 局域表面等离子共振的概念第13-14页
        1.4.2 Sn掺杂In_2O_3局域表面等离子共振性质的研究第14-15页
    1.5 本论文的研究内容第15-17页
2 样品制备与表征第17-27页
    2.1 引言第17页
    2.2 靶材的制备第17-18页
        2.2.1 实验原料第17-18页
        2.2.2 靶材制备第18页
    2.3 Fe-Sn共掺杂In_2O_3薄膜的制备第18-19页
        2.3.1 激光分子束外延设备第18-19页
        2.3.2 薄膜制备第19页
    2.4 Fe-Sn共掺杂In_2O_3纳米点阵列的制备第19-21页
        2.4.1 多孔阳极氧化铝模板的制备第20-21页
        2.4.2 纳米点阵列的制备第21页
    2.5 样品的表征第21-27页
        2.5.1 台阶仪第21-22页
        2.5.2 X-射线衍射仪第22-23页
        2.5.3 扫描电子显微镜第23页
        2.5.4 X-射线光电子谱第23-24页
        2.5.5 超导量子干涉仪第24页
        2.5.6 紫外-可见光谱仪第24-25页
        2.5.7 紫外-可见-近红外光谱仪第25-27页
3 非补偿Fe-Sn共掺杂In_2O_3薄膜的研究第27-37页
    3.1 引言第27页
    3.2 实验过程第27页
    3.3 结果与讨论第27-35页
        3.3.1 Sn掺杂量对Fe-Sn共掺杂In_2O_3薄膜结构、价态、形貌和性质的影响第27-33页
        3.3.2 薄膜厚度对Fe-Sn共掺杂In_2O_3薄膜结构及性质的影响第33-35页
    3.4 本章小结第35-37页
4 非补偿Fe-Sn共掺杂In_2O_3纳米点阵列的研究第37-51页
    4.1 引言第37页
    4.2 实验过程第37-39页
    4.3 结果与讨论第39-48页
        4.3.1 Fe-Sn共掺杂In_2O_3纳米点阵列的形貌第39-41页
        4.3.2 Sn的掺杂量对Fe-Sn共掺杂In_2O_3纳米点阵列结构和性质的影响第41-46页
        4.3.3 纳米点的尺寸对Fe-Sn共掺杂In_2O_3纳米点阵列结构和性质的影响第46-48页
    4.4 本章小结第48-51页
5 结论第51-53页
参考文献第53-57页
附录第57-59页
在学期间的研究成果第59-61页
致谢第61页

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