基于激光雷达的二维MEMS微镜驱动研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第7-15页 |
| 1.2.1 激光雷达技术的发展 | 第7-10页 |
| 1.2.2 MEMS微镜技术的发展 | 第10-15页 |
| 1.3 本文主要工作内容 | 第15-16页 |
| 2 电磁式MEMS微镜的谐振点计算原理 | 第16-26页 |
| 2.1 电磁式MEMS微镜的基本结构 | 第16-18页 |
| 2.2 电磁式微镜的谐振点分析 | 第18-24页 |
| 2.3 电磁式MEMS微镜的扫描原理 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 MEMS微镜控制系统设计与实现 | 第26-43页 |
| 3.1 微镜伺服控制的基本方法 | 第26-27页 |
| 3.2 伺服系统的设计 | 第27-28页 |
| 3.3 硬件设计 | 第28-37页 |
| 3.3.1 ARM模块设计 | 第29-31页 |
| 3.3.2 电源模块设计 | 第31页 |
| 3.3.3 D/A模块设计 | 第31-35页 |
| 3.3.4 滤波模块设计 | 第35-36页 |
| 3.3.5 PCB版图与实物图 | 第36-37页 |
| 3.4 伺服算法软件实现 | 第37-42页 |
| 3.4.1 ARM软件开发环境及开发流程 | 第38页 |
| 3.4.2 控制系统的软件设计 | 第38-40页 |
| 3.4.3 算法的数字实现 | 第40-42页 |
| 3.4.4 小结 | 第42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 测试结果与数据分析 | 第43-54页 |
| 4.1 微镜控制系统搭建 | 第43-44页 |
| 4.1.1 激光器选择 | 第43页 |
| 4.1.2 系统搭建 | 第43-44页 |
| 4.2 微镜幅频特性和谐振点偏移的实验 | 第44-50页 |
| 4.2.1 幅频特性实验 | 第44-48页 |
| 4.2.2 谐振点偏移实验 | 第48-50页 |
| 4.3 微镜谐振实验 | 第50-52页 |
| 4.3.1 一维谐振扫描 | 第50-51页 |
| 4.3.2 锯齿波实验分析 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 5 总结与展望 | 第54-55页 |
| 5.1 总结 | 第54页 |
| 5.2 展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 附录 | 第59页 |
