| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 太阳能电池的国内外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2 陷光结构前电极的研究进展 | 第11-15页 |
| 1.2.1 硅基薄膜太阳电池中的透明导电薄膜 | 第12-13页 |
| 1.2.2 绒面透明导电薄膜的应用 | 第13-15页 |
| 1.3 三维陷光结构的优势 | 第15-16页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 实验方案及性能表征方法 | 第18-28页 |
| 2.1 实验方案 | 第18页 |
| 2.2 磁控溅射技术 | 第18-19页 |
| 2.3 性能表征方法 | 第19-25页 |
| 2.3.1 薄膜厚度测试方法 | 第19-20页 |
| 2.3.2 X射线衍射 | 第20-21页 |
| 2.3.3 表面形貌测试方法 | 第21-22页 |
| 2.3.4 光学性能测试方法 | 第22-23页 |
| 2.3.5 电学性能测试方法 | 第23-24页 |
| 2.3.6 电池性能测试方法 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-28页 |
| 第三章 AAO/AZO陷光前电极的制备及性能研究 | 第28-50页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 AAO薄膜的特性及制备 | 第28-32页 |
| 3.2.1 AAO薄膜的特性研究 | 第28-29页 |
| 3.2.2 AAO薄膜的制备工艺 | 第29-32页 |
| 3.2.3 AAO/AZO复合结构前电极的制备 | 第32页 |
| 3.3 工艺参数对AAO掩模板性能的影响 | 第32-44页 |
| 3.3.1 退火处理对多孔膜有序度的影响 | 第33-34页 |
| 3.3.2 电化学抛光对样品表面的影响 | 第34-36页 |
| 3.3.3 不同氧化电压对AAO形貌的影响 | 第36-40页 |
| 3.3.4 二次氧化时间对AAO模板膜厚影响 | 第40-41页 |
| 3.3.5 不同的扩孔时间对氧化铝模板形貌及结构性能的影响 | 第41-44页 |
| 3.4 基于AAO模板的AAO/AZO前电极性能研究 | 第44-46页 |
| 3.5 基于AAO模板的AAO/AZO复合前电极在电池中的应用 | 第46-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 SiO_2微球/AZO前电极的制备及性能研究 | 第50-60页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 SiO_2微球/AZO前电极的制备 | 第50-52页 |
| 4.3 SiO_2微球直径对SiO_2微球/AZO复合前电极性能的影响 | 第52-55页 |
| 4.4 SiO_2微球刻蚀时间对SiO_2微球/AZO复合前电极性能的影响 | 第55-57页 |
| 4.5 SiO_2微球/AZO复合前电极在电池中的初步应用 | 第57-58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
