| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-14页 |
| 1.1.1 Ⅱ-Ⅵ族半导体纳米薄膜材料的性质 | 第11页 |
| 1.1.2 ZnS的主要特性 | 第11-12页 |
| 1.1.3 薄膜的发光机理 | 第12-13页 |
| 1.1.4 ZnS薄膜的应用 | 第13-14页 |
| 1.2 本论文研究的内容 | 第14-16页 |
| 2 ZnS薄膜的制备和表征 | 第16-25页 |
| 2.1 ZnS薄膜的制备技术 | 第16-21页 |
| 2.1.1 固相法 | 第16页 |
| 2.1.2 溶胶-凝胶法 | 第16-17页 |
| 2.1.3 喷雾热解法 | 第17页 |
| 2.1.4 化学气相沉积 | 第17页 |
| 2.1.5 溅射法 | 第17-18页 |
| 2.1.6 真空蒸发镀膜法 | 第18页 |
| 2.1.7 分子束外延 | 第18-19页 |
| 2.1.8 脉冲激光沉积 | 第19页 |
| 2.1.9 化学水浴法 | 第19-21页 |
| 2.2 ZnS薄膜的表征 | 第21-24页 |
| 2.2.1 X射线衍射 | 第21页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜 | 第21-22页 |
| 2.2.3 分光光度计 | 第22-23页 |
| 2.2.4 光致发光谱 | 第23页 |
| 2.2.5 光快速热处理 | 第23-24页 |
| 2.3 小结 | 第24-25页 |
| 3 ZnS薄膜的水浴法制备和光学性质的研究 | 第25-53页 |
| 3.1 三乙醇胺对生成物性质的影响 | 第25-27页 |
| 3.1.1 样品制备 | 第25页 |
| 3.1.2 微结构 | 第25-27页 |
| 3.2 热处理温度对ZnS薄膜的微结构和光学性质的影响 | 第27-31页 |
| 3.2.1 样品制备 | 第27-28页 |
| 3.2.2 微结构和光学性质 | 第28-31页 |
| 3.3 乙二胺对ZnS薄膜性质的影响 | 第31-32页 |
| 3.3.1 样品制备 | 第31-32页 |
| 3.3.2 微结构 | 第32页 |
| 3.4 乙二胺浓度对ZnS的微结构和光学性质的影响 | 第32-39页 |
| 3.4.1 样品制备 | 第32-33页 |
| 3.4.2 微结构和光学性质 | 第33-39页 |
| 3.5 沉积时间对ZnS薄膜的微结构和光学性质的影响 | 第39-42页 |
| 3.5.1 制备过程 | 第39页 |
| 3.5.2 微结构和光学性质 | 第39-42页 |
| 3.6 乙酸锌浓度对ZnS薄膜微结构和光学性质的影响 | 第42-46页 |
| 3.6.1 制备过程 | 第42页 |
| 3.6.2 微结构和光学性质 | 第42-46页 |
| 3.7 硫代乙酰胺浓度对ZnS薄膜的微结构和光学性质的影响 | 第46-51页 |
| 3.7.1 制备过程 | 第46-47页 |
| 3.7.2 微结构和光学性质 | 第47-51页 |
| 3.8 小结 | 第51-53页 |
| 4 ZnS:Al~(3+)薄膜的水浴法制备和光电性质的研究 | 第53-60页 |
| 4.1 Al~(3+)掺杂量对ZnS薄膜微结构和光电性质的影响 | 第53-59页 |
| 4.1.1 样品制备 | 第53页 |
| 4.1.2 微结构和光电性质 | 第53-59页 |
| 4.2 小结 | 第59-60页 |
| 5 结论与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 主要结论 | 第60-61页 |
| 5.2 进一步需要研究的内容 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 个人简历及攻读硕士期间发表的论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
