| 中文摘要 | 第3-5页 |
| abstract | 第5-7页 |
| 第一章 引言 | 第10-17页 |
| 1.1 太阳能电池的发展现状及意义 | 第10-12页 |
| 1.1.1 太阳能电池的发展现状 | 第10-11页 |
| 1.1.2 太阳能电池发展的意义 | 第11-12页 |
| 1.2 太阳能电池的基本工作原理 | 第12-13页 |
| 1.3 富硅-氮化硅薄膜的性质以及发光研究进展 | 第13-15页 |
| 1.3.1 氮化硅薄膜的性质和应用 | 第13页 |
| 1.3.2 氮化硅薄膜制备方法 | 第13-14页 |
| 1.3.3 富硅-氮化硅薄膜的发光研究 | 第14-15页 |
| 1.4 硅量子点在太阳能电池中的研究进展 | 第15-17页 |
| 第二章 富硅-氮化硅薄膜的制备方法及表征手段 | 第17-25页 |
| 2.1 富硅-氮化硅薄膜的制备 | 第17-18页 |
| 2.1.1 实验设备介绍 | 第17页 |
| 2.1.2 实验用衬底样品的清洗 | 第17-18页 |
| 2.2 实验样品的表征分析方法 | 第18-25页 |
| 2.2.1 傅里叶变换红外光谱(FTIR) | 第18-19页 |
| 2.2.2 X射线衍射谱(XRD) | 第19-20页 |
| 2.2.3 光致发光谱(PL) | 第20-21页 |
| 2.2.4 紫外可见光透射以及吸收谱(UV-Vis) | 第21-24页 |
| 2.2.5 Raman散射谱 | 第24-25页 |
| 第三章 氨气流量对富硅SiN_x薄膜的结构及其光学特性影响 | 第25-31页 |
| 3.1 实验目的 | 第25页 |
| 3.2 实验过程 | 第25-26页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第26-29页 |
| 3.3.1 傅立叶变换红外光谱分析 | 第26-28页 |
| 3.3.2 紫外可见光谱分析 | 第28-29页 |
| 3.3.3 XRD图谱分析 | 第29页 |
| 3.4 本章小结 | 第29-31页 |
| 第四章 射频功率和沉积压力对富硅-氮化硅薄膜的结构和 | 第31-38页 |
| 性质的影响 | 第31页 |
| 4.1 实验目的 | 第31页 |
| 4.2 实验内容 | 第31-32页 |
| 4.3 实验结果与分析 | 第32-37页 |
| 4.3.1 紫外可见光透射谱 | 第32-33页 |
| 4.3.2 傅立叶变换红外光谱 | 第33-36页 |
| 4.3.3 XRD衍射图谱 | 第36-37页 |
| 4.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第五章 对含非晶硅量子点的富硅-氮化硅薄膜的结构与发光特性的研究 | 第38-46页 |
| 5.1 实验目的 | 第38页 |
| 5.2 实验过程 | 第38-39页 |
| 5.3 实验结果与分析 | 第39-45页 |
| 5.3.1 傅里叶变换红外光谱 | 第39-40页 |
| 5.3.2 拉曼散射光谱分析 | 第40-42页 |
| 5.3.3 光致发光谱(PL)分析 | 第42-45页 |
| 5.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第六章 总结与展望 | 第46-48页 |
| 6.1 主要结论 | 第46-47页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-54页 |
| 攻读硕士期间发表和完成的论文 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
