| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 太赫兹波的简介 | 第11-12页 |
| 1.2 研究背景和意义 | 第12页 |
| 1.3 太赫兹可调器件的研究动态 | 第12-20页 |
| 1.3.1 太赫兹可调滤波器研究动态 | 第12-18页 |
| 1.3.2 太赫兹波导开关研究动态 | 第18-20页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 基于MEMS技术的微执行器 | 第22-52页 |
| 2.1 MEMS技术 | 第22-23页 |
| 2.1.1 MEMS技术简介 | 第22页 |
| 2.1.2 表面微细加工技术 | 第22-23页 |
| 2.2 PolyMUMPs工艺介绍 | 第23-29页 |
| 2.2.1 PolyMUMPs工艺流程 | 第23-27页 |
| 2.2.2 PolyMUMPs工艺设计规则 | 第27-29页 |
| 2.3 微执行器 | 第29-32页 |
| 2.3.1 微执行器概述 | 第29页 |
| 2.3.2 微执行器原理 | 第29-31页 |
| 2.3.3 微执行器设计中需要注意的问题 | 第31-32页 |
| 2.4 基于蛇形级联的Bimorph梁热微执行器 | 第32-45页 |
| 2.4.1 Bimorph工作原理 | 第32-34页 |
| 2.4.2 蛇形级联Bimorph微执行器仿真分析 | 第34-41页 |
| 2.4.3 版图加工设计及测试结果分析 | 第41-45页 |
| 2.5 基于交错级联的Bimorph梁热微执行器 | 第45-47页 |
| 2.6 基于U型梁的热微执行器 | 第47-51页 |
| 2.6.1 U型梁工作原理 | 第47-48页 |
| 2.6.2 U型梁热微执行器仿真分析 | 第48-50页 |
| 2.6.3 U型梁热微执行器版图加工设计及问题分析 | 第50-51页 |
| 2.7 本章小结 | 第51-52页 |
| 第三章 太赫兹可调滤波器研究 | 第52-76页 |
| 3.1 滤波器理论 | 第52-55页 |
| 3.1.1 滤波器基本理论 | 第52-53页 |
| 3.1.2 滤波器低通原型 | 第53-54页 |
| 3.1.3 切比雪夫低通原型 | 第54-55页 |
| 3.2 太赫兹可调带通滤波器设计 | 第55-71页 |
| 3.2.1 太赫兹带通滤波器设计 | 第55-58页 |
| 3.2.2 调谐原理 | 第58-59页 |
| 3.2.3 仿真分析 | 第59-61页 |
| 3.2.4 装配方案选取及容差分析 | 第61-68页 |
| 3.2.5 调谐思路拓展 | 第68-71页 |
| 3.3 太赫兹可调滤波器实验研究 | 第71-75页 |
| 3.3.1 滤波器腔体 | 第71-72页 |
| 3.3.2 测试方案及测试结果 | 第72-74页 |
| 3.3.3 测试结果分析 | 第74-75页 |
| 3.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 第四章 太赫兹波导开关研究 | 第76-85页 |
| 4.1 太赫兹波导开关设计 | 第76-81页 |
| 4.1.1 波导开关原理 | 第76-77页 |
| 4.1.2 仿真分析 | 第77-79页 |
| 4.1.3 装配方案选取及容差分析 | 第79-81页 |
| 4.2 太赫兹波导开关实验研究 | 第81-84页 |
| 4.2.1 波导开关腔体 | 第81-82页 |
| 4.2.2 测试方案及测试结果 | 第82-84页 |
| 4.2.3 测试结果分析 | 第84页 |
| 4.3 本章小结 | 第84-85页 |
| 第五章 太赫兹可调吸波器研究 | 第85-93页 |
| 5.1 基于EBG结构的吸波器研究 | 第85-89页 |
| 5.1.1 EBG结构简介 | 第85-87页 |
| 5.1.2 基于EBG结构的太赫兹可调吸波器研究 | 第87-89页 |
| 5.2 基于超材料的太赫兹可调吸波器研究 | 第89-92页 |
| 5.2.1 超材料简介 | 第89页 |
| 5.2.2 基于超材料的太赫兹可调吸波器研究 | 第89-92页 |
| 5.3 本章小结 | 第92-93页 |
| 第六章 总结和展望 | 第93-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-99页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第99页 |