| 摘要 | 第12-14页 |
| Abstract | 第14-15页 |
| 第一章 绪论 | 第16-47页 |
| 1.1 课题的来源及意义 | 第16-17页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第16页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第16-17页 |
| 1.2 周期性纳米结构制造技术发展现状 | 第17-28页 |
| 1.2.1“自上而下”的纳米结构制造技术 | 第18-23页 |
| 1.2.2“自下而上”的纳米结构制造技术 | 第23-25页 |
| 1.2.3“自上而下”与“自下而上”相融合的纳米结构制造技术 | 第25-28页 |
| 1.3 纳米球光刻技术发展与应用现状 | 第28-39页 |
| 1.3.1 二维有序胶体晶体的自组装策略 | 第28-30页 |
| 1.3.2 基于二维有序胶体晶体制备周期性纳米结构 | 第30-36页 |
| 1.3.3 基于纳米球光刻技术制备的周期性纳米结构应用现状 | 第36-39页 |
| 1.4 周期性纳米结构在表面增强拉曼光谱技术中的应用现状 | 第39-44页 |
| 1.4.1 拉曼光谱与表面增强拉曼光谱 | 第39-40页 |
| 1.4.2 SERS增强机理 | 第40-41页 |
| 1.4.3“热点”SERS基底的发展现状 | 第41-44页 |
| 1.5 本文的研究思路和内容 | 第44-47页 |
| 第二章 周期性纳米结构微纳融合关键制备工艺研究 | 第47-66页 |
| 2.1 二维有序胶体晶体的旋涂制备工艺研究 | 第47-54页 |
| 2.1.1 二维有序胶体晶体的旋涂工艺设计 | 第48页 |
| 2.1.2 晶圆级单层胶体晶体的高效可控制备 | 第48-51页 |
| 2.1.3 晶圆级双层胶体晶体的高效可控制备 | 第51-53页 |
| 2.1.4 二维有序胶体晶体光禁带分析 | 第53-54页 |
| 2.2 周期性金属纳米孔结构可控制备工艺研究 | 第54-61页 |
| 2.2.1 周期性金属纳米孔结构制备工艺设计 | 第54-56页 |
| 2.2.2 等离子体刻蚀对PS颗粒形貌影响规律研究 | 第56-58页 |
| 2.2.3 周期性金属纳米孔的模板法制备工艺 | 第58-60页 |
| 2.2.4 月牙形纳米结构的限域模板法制备工艺 | 第60-61页 |
| 2.3 周期性硅纳米孔结构可控制备工艺研究 | 第61-65页 |
| 2.3.1 周期性硅纳米孔结构制备工艺设计 | 第61页 |
| 2.3.2 周期性硅纳米孔结构可控制备 | 第61-63页 |
| 2.3.3 周期性硅纳米孔结构减反射性能表征 | 第63-65页 |
| 2.4 小结 | 第65-66页 |
| 第三章 周期性纳间隙结构可控制备及其SERS性能研究 | 第66-84页 |
| 3.1 周期性金属PIB结构可控制备及其SERS性能研究 | 第66-76页 |
| 3.1.1 周期性金属PIB结构制备工艺设计 | 第67-68页 |
| 3.1.2 周期性金属PIB结构可控制备及形貌表征 | 第68-71页 |
| 3.1.3 周期性金属PIB结构电磁学特性分析 | 第71-74页 |
| 3.1.4 周期性金属PIB结构SERS性能表征 | 第74-76页 |
| 3.2 周期性纳米棒结构可控制备及其SERS性能研究 | 第76-82页 |
| 3.2.1 周期性纳米棒结构制备工艺设计 | 第76-78页 |
| 3.2.2 周期性纳米棒结构可控制备及形貌表征 | 第78-81页 |
| 3.2.3 周期性纳米棒结构SERS性能表征 | 第81-82页 |
| 3.3 小结 | 第82-84页 |
| 第四章 周期性纳尖端结构可控制备及其SERS性能研究 | 第84-111页 |
| 4.1 周期性金字塔型纳米结构可控制备及其SERS性能研究 | 第84-98页 |
| 4.1.1 周期性金字塔型纳米结构制备工艺设计 | 第84-86页 |
| 4.1.2 周期性金字塔型纳米结构可控制备及形貌表征 | 第86-92页 |
| 4.1.3 周期性金字塔型纳米结构电磁学特性分析 | 第92-96页 |
| 4.1.4 周期性金字塔型纳米结构SERS性能表征 | 第96-98页 |
| 4.2 周期性六角星型纳米结构可控制备及其SERS性能研究 | 第98-109页 |
| 4.2.1 周期性六角星型纳米结构制备工艺设计 | 第99-100页 |
| 4.2.2 多形貌PS双层纳米结构掩模可控制备 | 第100-103页 |
| 4.2.3 周期性六角星盘/锥结构可控制备及形貌表征 | 第103-104页 |
| 4.2.4 周期性六角星锥纳米结构电磁场特性分析 | 第104-106页 |
| 4.2.5 粘结层和基底材质对六角星锥表面等离子体共振性质的影响 | 第106-108页 |
| 4.2.6 周期性六角星锥结构SERS性能表征 | 第108-109页 |
| 4.3 小结 | 第109-111页 |
| 第五章 密堆型周期性三角纳米锥结构可控制备及其SERS性能研究 | 第111-117页 |
| 5.1 密堆型周期性三角纳米锥结构制备工艺设计 | 第111-112页 |
| 5.2 周期性反三角形锥型纳米孔结构可控制备 | 第112-115页 |
| 5.3 密堆型周期性三角纳米锥结构可控制备及SERS性能表征 | 第115-116页 |
| 5.4 小结 | 第116-117页 |
| 第六章 总结与展望 | 第117-120页 |
| 6.1 总结 | 第117-119页 |
| 6.2 展望 | 第119-120页 |
| 致谢 | 第120-122页 |
| 参考文献 | 第122-132页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第132-134页 |
