基于数学形态学的AFM探针盲建模方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 探针形貌提取的必要性 | 第9-11页 |
| 1.1.1 探针形貌对扫描图像的影响 | 第9-10页 |
| 1.1.2 探针形貌对表征材料机械力学特性的作用 | 第10-11页 |
| 1.2 探针形貌提取的方法概述 | 第11-18页 |
| 1.2.1 电镜成像法 | 第11-12页 |
| 1.2.2 特殊探针标样辅助提取法 | 第12-16页 |
| 1.2.3 基于数学运算的提取方法 | 第16-18页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第18-19页 |
| 第二章 探针盲建模算法理论分析及程序设计 | 第19-34页 |
| 2.1 理论分析 | 第19-26页 |
| 2.1.1 形态学基本定义及性质 | 第19-20页 |
| 2.1.2 膨胀运算 | 第20-22页 |
| 2.1.3 盲建模算法 | 第22-26页 |
| 2.1.4 腐蚀运算 | 第26页 |
| 2.2 程序设计 | 第26-32页 |
| 2.2.1 程序流程 | 第26-30页 |
| 2.2.2 初始探针形貌及降噪阈值设置 | 第30-32页 |
| 2.3 合适标样的重要性 | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 探针标样适宜形状的探究 | 第34-42页 |
| 3.1 仿真过程 | 第34-36页 |
| 3.1.1 基于实际探针形貌的理论模型提取 | 第34-35页 |
| 3.1.2 仿真实验流程图 | 第35-36页 |
| 3.2 适宜探针标样形状 | 第36-39页 |
| 3.2.1 曲面结构及平面结构对探针盲建模的影响 | 第36-38页 |
| 3.2.2 适宜探针标样 | 第38-39页 |
| 3.3 三棱锥探针盲建分析 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 基于盲建模误差探究适宜探针标样尺寸 | 第42-51页 |
| 4.1 圆锥角及曲率半径和盲建模误差的关系 | 第42-46页 |
| 4.1.1 仿真实验描述 | 第42-43页 |
| 4.1.2 误差定义 | 第43-44页 |
| 4.1.3 仿真结果及分析 | 第44-46页 |
| 4.2 盲建模误差模型 | 第46-48页 |
| 4.3 适宜的探针标样结构 | 第48-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 基于Tipcheck的探针盲建结果及分析 | 第51-60页 |
| 5.1 探针SEM图及轮廓线提取 | 第51-53页 |
| 5.1.1 探针SEM图 | 第51-52页 |
| 5.1.2 探针轮廓线提取 | 第52-53页 |
| 5.2 基于Tipcheck的探针盲建模结果 | 第53-57页 |
| 5.2.1 Tipcheck扫描图分析 | 第53-54页 |
| 5.2.2 探针盲建模结果分析 | 第54-57页 |
| 5.3 探针数据比较与分析 | 第57-59页 |
| 5.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第60-61页 |
| 6.2 工作展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
