基于厚膜技术的不锈钢压力传感器工艺研究及性能优化
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 概述 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第10-12页 |
| 1.3 市场应用前景 | 第12-14页 |
| 1.4 课题来源、研究内容和论文安排 | 第14-16页 |
| 2 压力传感器的设计 | 第16-29页 |
| 2.1 压力传感器的工作原理 | 第16-19页 |
| 2.2 压力传感器的膜片受力计算 | 第19-23页 |
| 2.3 厚膜金属压力传感器的结构设计 | 第23-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 厚膜金属压力传感器的工艺研究 | 第29-38页 |
| 3.1 压力传感器厚膜浆料的确定 | 第29-31页 |
| 3.2 关键工艺的介绍 | 第31-32页 |
| 3.3 厚膜烧结工艺的研究 | 第32-33页 |
| 3.4 厚膜金属压力传感器制作的工艺设计 | 第33-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 4 压力传感器的性能评估 | 第38-52页 |
| 4.1 膜层之间的界面兼容性 | 第38-40页 |
| 4.2 压力传感器静态测试 | 第40-48页 |
| 4.3 压力传感器的失效模式 | 第48-51页 |
| 4.4 本章总结 | 第51-52页 |
| 5 压力传感器的性能优化及对比 | 第52-57页 |
| 5.1 压力传感器的性能优化 | 第52-54页 |
| 5.2 国外同类型产品性能分析 | 第54-55页 |
| 5.3 本项目传感器的优化方案 | 第55-56页 |
| 5.4 本章总结 | 第56-57页 |
| 6 总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 全文总结 | 第57-58页 |
| 6.2 对后续工作的展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
