| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 MEMS加速度传感器 | 第7-18页 |
| 第一节 惯性MEMS器件产品 | 第7-8页 |
| 第二节 MEMS技术在军事中的应用 | 第8-9页 |
| 第三节 MEMS技术在航空航天方面的应用 | 第9-10页 |
| 第四节 MEMS技术在生物医疗和生物医学方面的应用 | 第10-11页 |
| 第五节 加速度传感器的应用 | 第11-13页 |
| 第六节 加速度传感器主要分类 | 第13-17页 |
| 第七节 论文主要内容 | 第17-18页 |
| 第二章 八梁固支微加速度传感器原理与设计 | 第18-35页 |
| 第一节 传感器结构 | 第18-20页 |
| 第二节 传感器工作原理 | 第20-23页 |
| 第三节 传感器简化模型分析 | 第23-25页 |
| 第四节 灵敏度分析 | 第25页 |
| 第五节 频率响应 | 第25-27页 |
| 第六节 压膜空气阻尼 | 第27-28页 |
| 第七节 传感器尺寸设定 | 第28-30页 |
| 第八节 SOLIDWORKS模拟 | 第30-34页 |
| 第九节 总结 | 第34-35页 |
| 第三章 加速度计工艺实现 | 第35-47页 |
| 第一节 各向异性腐蚀 | 第35-40页 |
| 第二节 压阻电阻条制作 | 第40-42页 |
| 第三节 静电键合工艺 | 第42-43页 |
| 第四节 整体工艺流程 | 第43-47页 |
| 第四章 测试电路 | 第47-51页 |
| 第一节 恒流源 | 第47-48页 |
| 第二节 差分放大电路 | 第48-49页 |
| 第三节 输出级 | 第49页 |
| 第四节 总结 | 第49-51页 |
| 第五章 总结与展望 | 第51-53页 |
| 第一节 经验总结 | 第51页 |
| 第二节 下一步工作展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |