车削光学自由曲面表面光学散射性能的在位测量
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.1 基于激光光束质量的测量方法 | 第13-14页 |
| 1.2.2 在位测量方法 | 第14-15页 |
| 1.2.3 光学测量方法 | 第15-18页 |
| 1.3 研究目的和内容 | 第18-19页 |
| 1.4 本文组织结构 | 第19-20页 |
| 第2章 光学自由曲面粗糙度表面散射理论分析 | 第20-32页 |
| 2.1 经典粗糙度表面散射理论 | 第20-25页 |
| 2.1.1 粗糙度表面经典散射理论 | 第20-21页 |
| 2.1.2 表面粗糙度对散射性能的影响 | 第21-22页 |
| 2.1.3 表面粗糙度的评价参数及统计特征参数 | 第22-25页 |
| 2.2 基于激光散射光分布的表面粗糙度测量 | 第25-30页 |
| 2.2.1 光能及其计算的预备知识 | 第25-26页 |
| 2.2.2 反射散射比与粗糙度的关系 | 第26-27页 |
| 2.2.3 衍射模型理论分析 | 第27-29页 |
| 2.2.4 镜面模型理论分析 | 第29-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 在位测量试验设计 | 第32-46页 |
| 3.1 总体设计思路分析 | 第32-33页 |
| 3.2 测试数据分析原理 | 第33-34页 |
| 3.3 测试试验主要部件 | 第34-38页 |
| 3.3.1 CCD 激光光束分析仪 | 第34-36页 |
| 3.3.2 分体式红光氦氖激光器 | 第36页 |
| 3.3.3 测量点控制单元 | 第36-38页 |
| 3.3.4 BeamOn HR 光束质量分析系统 | 第38页 |
| 3.4 试验数据准备与处理 | 第38-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 散射性能试验与分析 | 第46-56页 |
| 4.1 标准粗糙度试验件测量分析 | 第46-50页 |
| 4.2 在位自由曲面试验件测量分析 | 第50-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-56页 |
| 第5章 结论与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 全文结论 | 第56-57页 |
| 5.2 工作展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
