| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-16页 |
| ·高频冲击波及其测量概述 | 第7-10页 |
| ·高频冲击波 | 第7-8页 |
| ·高频冲击波测试技术 | 第8-10页 |
| ·高频动态压力传感器 | 第10页 |
| ·微机电系统MEMS(MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM) | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·国外研究现状 | 第12-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13-14页 |
| ·本论文主要研究内容及安排 | 第14-16页 |
| ·主要研究内容 | 第14页 |
| ·论文安排 | 第14-16页 |
| 第二章 系统设计 | 第16-19页 |
| ·需求分析 | 第16页 |
| ·方案论证 | 第16-19页 |
| ·压力传感器测量原理比较 | 第17-18页 |
| ·信号调理电路方案论证 | 第18-19页 |
| 第三章 压阻压力传感器设计 | 第19-28页 |
| ·力敏芯片总体结构 | 第19-20页 |
| ·力敏芯片的设计 | 第20-25页 |
| ·半导体材料的压阻效应 | 第20-21页 |
| ·力敏芯片尺寸的设计 | 第21-23页 |
| ·膜片频率响应带宽的计算 | 第23-24页 |
| ·制作工艺流程 | 第24-25页 |
| ·封装结构设计 | 第25-28页 |
| 第四章 信号调理电路设计 | 第28-37页 |
| ·电源电路设计 | 第28-30页 |
| ·传感器供电电源 | 第28-30页 |
| ·系统整体电源设计 | 第30页 |
| ·压阻压力传感器温度漂移及补偿 | 第30-33页 |
| ·补偿建模原理 | 第31页 |
| ·补偿网络模型 | 第31-32页 |
| ·补偿算法 | 第32-33页 |
| ·模拟放大电路设计 | 第33-37页 |
| ·单芯片设计方法 | 第33-35页 |
| ·二级放大设计 | 第35-37页 |
| 第五章 系统优化及可靠性设计 | 第37-45页 |
| ·压力敏感芯片设计优化 | 第37-40页 |
| ·光干扰抑制 | 第37-39页 |
| ·热干扰或温度影响消除 | 第39-40页 |
| ·近场测量负脉冲抑制 | 第40页 |
| ·电路设计优化 | 第40-45页 |
| 第六章 测试与验证 | 第45-50页 |
| ·压力传感器动态测试方法 | 第45-46页 |
| ·验证试验与结果 | 第46-50页 |
| 第七章 结束语 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |