| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-27页 |
| 1.1 三维磁场/三轴加速度/压力传感器集成化研究目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 传感器集成化研究现状 | 第10-25页 |
| 1.2.1 国内研究现状 | 第10-18页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第18-25页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 三维磁场/三轴加速度/压力集成化传感器基本结构和工作原理 | 第27-48页 |
| 2.1 三维磁场/三轴加速度/压力集成化传感器基本结构 | 第27-29页 |
| 2.2 三维磁场/三轴加速度/压力集成化传感器工作原理 | 第29-47页 |
| 2.2.1 三维磁场传感器工作原理 | 第29-35页 |
| 2.2.2 三轴加速度传感器工作原理 | 第35-45页 |
| 2.2.3 压力传感器工作原理 | 第45-47页 |
| 2.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 三维磁场/三轴加速度/压力集成化传感器特性仿真 | 第48-71页 |
| 3.1 三维磁场传感器模型构建和特性仿真 | 第48-57页 |
| 3.1.1 磁场传感器仿真模型构建 | 第48-49页 |
| 3.1.2 x方向磁场传感器特性仿真 | 第49-50页 |
| 3.1.3 y方向磁场传感器特性仿真 | 第50-52页 |
| 3.1.4 z方向磁场传感器特性仿真 | 第52-54页 |
| 3.1.5 磁集中器仿真模型构建和特性仿真 | 第54-57页 |
| 3.2 三轴加速度传感器ANSYS软件仿真 | 第57-66页 |
| 3.2.1 三轴加速度传感器仿真模型构建 | 第57-58页 |
| 3.2.2 x方向加速度传感器特性仿真 | 第58-59页 |
| 3.2.3 y方向加速度传感器特性仿真 | 第59-60页 |
| 3.2.4 z方向加速度传感器特性仿真 | 第60-61页 |
| 3.2.5 三轴加速度传感器灵敏度 | 第61-63页 |
| 3.2.6 三轴加速度传感器模态分析 | 第63-64页 |
| 3.2.7 三轴加速度传感器谐响应分析 | 第64-66页 |
| 3.3 压力传感器ANSYS软件仿真 | 第66-69页 |
| 3.3.1 压力传感器仿真模型构建 | 第66-67页 |
| 3.3.2 压力传感器特性仿真 | 第67-69页 |
| 3.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 第4章 三维磁场/三轴加速度/压力集成化传感器芯片制作与封装 | 第71-83页 |
| 4.1 三维磁场/三轴加速度/压力集成化传感器结构设计 | 第71-76页 |
| 4.1.1 三维磁场传感器结构设计 | 第71-73页 |
| 4.1.2 三轴加速度传感器结构设计 | 第73-74页 |
| 4.1.3 压力传感器结构设计 | 第74-76页 |
| 4.2 三维磁场/三轴加速度/压力集成化传感器芯片版图设计 | 第76-77页 |
| 4.3 三维磁场/三轴加速度/压力集成化传感器芯片制作工艺 | 第77-81页 |
| 4.4 三维磁场/三轴加速度/压力集成化传感器封装 | 第81-82页 |
| 4.5 本章小结 | 第82-83页 |
| 第5章 实验结果与讨论 | 第83-104页 |
| 5.1 三维磁场/三轴加速度/压力集成化传感器特性测试系统搭建 | 第83-85页 |
| 5.1.1 磁场传感器特性测试系统 | 第83页 |
| 5.1.2 加速度传感器特性测试系统 | 第83-84页 |
| 5.1.3 压力传感器特性测试系统 | 第84-85页 |
| 5.2 三维磁场传感器特性测试 | 第85-93页 |
| 5.2.1 x方向磁场传感器特性测试 | 第85-88页 |
| 5.2.2 y方向磁场传感器特性测试 | 第88-91页 |
| 5.2.3 z方向磁场传感器特性测试 | 第91-93页 |
| 5.2.4 三维磁场传感器灵敏度 | 第93页 |
| 5.3 三轴加速度传感器特性测试 | 第93-97页 |
| 5.3.1 三轴加速度传感器振动特性测试 | 第93-95页 |
| 5.3.2 x轴加速度传感器灵敏度特性测试 | 第95页 |
| 5.3.3 y轴加速度传感器灵敏度特性测试 | 第95-96页 |
| 5.3.4 z轴加速度传感器灵敏度特性测试 | 第96-97页 |
| 5.3.5 三轴加速度传感器灵敏度 | 第97页 |
| 5.4 压力传感器特性测试 | 第97-98页 |
| 5.5 三维磁场/三轴加速度/压力集成化传感器静态特性指标 | 第98页 |
| 5.6 磁场、加速度、压力对集成化传感器影响 | 第98-103页 |
| 5.6.1 外加压力对三维磁场传感器特性影响 | 第98-100页 |
| 5.6.2 外加磁场对压力传感器特性影响 | 第100-101页 |
| 5.6.3 外加加速度对压力传感器特性影响 | 第101-103页 |
| 5.7 集成化传感器测试特性与软件仿真特性差异分析 | 第103页 |
| 5.8 本章小结 | 第103-104页 |
| 结论 | 第104-105页 |
| 参考文献 | 第105-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第113页 |
| 攻读学位期间承担科研项目 | 第113-114页 |
| 攻读学位期间申请专利 | 第114页 |
