Sol-gel法制备掺杂ZnO薄膜及其光电特性研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 ZnO的结构、性能和应用 | 第10-13页 |
| 1.2.1 ZnO的结构 | 第10-11页 |
| 1.2.2 ZnO的性能及其应用 | 第11-13页 |
| 1.3 ZnO薄膜的制备方法 | 第13-16页 |
| 1.3.1 物理气相沉积法 | 第13页 |
| 1.3.2 化学气相沉积法 | 第13-14页 |
| 1.3.3 溅射法 | 第14页 |
| 1.3.4 分子束外延法 | 第14-15页 |
| 1.3.5 真空蒸发法 | 第15页 |
| 1.3.6 液相外延法 | 第15页 |
| 1.3.7 溶胶凝胶法 | 第15-16页 |
| 1.4 ZnO的研究进展 | 第16-17页 |
| 1.4.1 国外研究进展 | 第16-17页 |
| 1.4.2 国内研究进展 | 第17页 |
| 1.5 本文的研究内容和结构安排 | 第17-19页 |
| 第二章 实验原料、仪器和表征手段 | 第19-25页 |
| 2.1 实验原料 | 第19页 |
| 2.2 实验仪器 | 第19-20页 |
| 2.3 实验表征手段 | 第20-22页 |
| 2.3.1 X射线衍射仪 | 第20-21页 |
| 2.3.2 金相显微镜 | 第21页 |
| 2.3.3 扫描电子显微镜 | 第21页 |
| 2.3.4 X射线能量散射谱 | 第21-22页 |
| 2.3.5 多功能激光椭圆偏振仪 | 第22页 |
| 2.3.6 光学特性测试 | 第22页 |
| 2.3.7 电学特性测试 | 第22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-25页 |
| 第三章 本征ZnO薄膜的制备 | 第25-37页 |
| 3.1 Sol-gel制备ZnO薄膜的实验机理 | 第25-26页 |
| 3.2 本征ZnO薄膜的制备 | 第26-29页 |
| 3.2.1 溶胶凝胶法制备薄膜的工艺流程 | 第26页 |
| 3.2.2 薄膜制备的具体步骤 | 第26-29页 |
| 3.3 实验设计及结果分析 | 第29-35页 |
| 3.3.1 试剂加入次序和搅拌温度 | 第29-30页 |
| 3.3.2 陈化条件 | 第30-31页 |
| 3.3.3 预热处理温度 | 第31-32页 |
| 3.3.4 退火温度 | 第32-35页 |
| 3.4 不同退火温度下ZnO薄膜的发光性能分析 | 第35-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 掺杂ZnO薄膜的制备及性能分析 | 第37-65页 |
| 4.1 掺杂实验的实验设计 | 第37-39页 |
| 4.1.1 杂质选取 | 第37-38页 |
| 4.1.2 实验设计 | 第38页 |
| 4.1.3 掺杂ZnO薄膜的制备 | 第38-39页 |
| 4.2 Co掺杂ZnO薄膜的性能分析 | 第39-45页 |
| 4.2.1 Co掺杂ZnO薄膜的结构分析 | 第39-41页 |
| 4.2.2 Co掺杂ZnO薄膜的表面形貌分析 | 第41-42页 |
| 4.2.3 Co掺杂ZnO薄膜的成分分析 | 第42-43页 |
| 4.2.4 Co掺杂ZnO薄膜的发光性能分析 | 第43-44页 |
| 4.2.5 Co掺杂ZnO薄膜的电学性能分析 | 第44-45页 |
| 4.3 Cu掺杂ZnO薄膜的性能分析 | 第45-52页 |
| 4.3.1 Cu掺杂ZnO薄膜的结构分析 | 第45-47页 |
| 4.3.2 Cu掺杂ZnO薄膜的表面形貌分析 | 第47-48页 |
| 4.3.3 Cu掺杂ZnO薄膜的成分分析 | 第48-49页 |
| 4.3.4 Cu掺杂ZnO薄膜的发光性能分析 | 第49-50页 |
| 4.3.5 Cu掺杂ZnO薄膜的电学性能分析 | 第50-52页 |
| 4.4 Cd掺杂ZnO薄膜的性能分析 | 第52-58页 |
| 4.4.1 Cd掺杂ZnO薄膜的结构分析 | 第52-53页 |
| 4.4.2 Cd掺杂ZnO薄膜的表面形貌分析 | 第53-54页 |
| 4.4.3 Cd掺杂ZnO薄膜的成分分析 | 第54-55页 |
| 4.4.4 Cd掺杂ZnO薄膜的发光性能分析 | 第55-57页 |
| 4.4.5 Cd掺杂ZnO薄膜的电学性能分析 | 第57-58页 |
| 4.5 La掺杂ZnO薄膜的性能分析 | 第58-64页 |
| 4.5.1 La掺杂ZnO薄膜的结构分析 | 第58-59页 |
| 4.5.2 La掺杂ZnO薄膜的表面形貌分析 | 第59-60页 |
| 4.5.3 La掺杂ZnO薄膜的成分分析 | 第60-61页 |
| 4.5.4 La掺杂ZnO薄膜的发光性能分析 | 第61-63页 |
| 4.5.5 La掺杂ZnO薄膜的电学性能分析 | 第63-64页 |
| 4.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 工作总结 | 第65-66页 |
| 5.2 工作展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
