| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-13页 |
| 1.1 太阳能概况 | 第10页 |
| 1.2 太阳能电池的发明和未来前景 | 第10-11页 |
| 1.2.1 太阳能电池发明 | 第10-11页 |
| 1.2.2 太阳能电池前景 | 第11页 |
| 1.3 论文研究的主要内容 | 第11-13页 |
| 第2章 太阳能光伏电池简介 | 第13-20页 |
| 2.1 光伏效应 | 第13页 |
| 2.2 光伏电池分类 | 第13页 |
| 2.3 硅太阳能电池的工作原理及其结构 | 第13-14页 |
| 2.4 晶体硅太阳能电池的生产工艺流程 | 第14-20页 |
| 2.4.1 清洗 | 第15页 |
| 2.4.2 制绒 | 第15页 |
| 2.4.3 扩散 | 第15-16页 |
| 2.4.4 周边刻蚀 | 第16页 |
| 2.4.5 去磷硅玻璃 | 第16-17页 |
| 2.4.6 PECVD镀减反射膜 | 第17-18页 |
| 2.4.7 印刷电极 | 第18-19页 |
| 2.4.8 烧结 | 第19-20页 |
| 第3章 表面酸腐蚀制绒的研究与实验 | 第20-29页 |
| 3.1 温度对绒面腐蚀坑微观形貌的影响 | 第20-21页 |
| 3.1.1 绒面温度分布 | 第20页 |
| 3.1.2 不同温度场分布对反应速率差的影响 | 第20-21页 |
| 3.2 硅片在酸溶液中的腐蚀机理 | 第21-22页 |
| 3.2.1 各种因素对腐蚀反应的影响硅片表面因素 | 第22页 |
| 3.2.2 腐蚀液配比腐蚀液配比对反应速率的影响 | 第22页 |
| 3.3 不同温度影响转换效率的实验设计与结果 | 第22-24页 |
| 3.3.1 实验准备 | 第22-23页 |
| 3.3.2 实验设计 | 第23-24页 |
| 3.3.3 实验结果 | 第24页 |
| 3.4 混合液配比的实验设计与结果 | 第24-26页 |
| 3.4.1 实验准备 | 第24-25页 |
| 3.4.2 实验设计 | 第25页 |
| 3.4.3 实验结果 | 第25-26页 |
| 3.5 制绒添加剂实验设计与结果 | 第26-28页 |
| 3.5.1 原理介绍 | 第26页 |
| 3.5.2 添加剂使用方法 | 第26-27页 |
| 3.5.3 实验设计 | 第27页 |
| 3.5.4 实验结果 | 第27-28页 |
| 3.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 SiNx氮化硅膜的研究与实验 | 第29-51页 |
| 4.1 钝化的原理 | 第29-32页 |
| 4.1.1 二氧化硅-硅系统中的电荷 | 第29页 |
| 4.1.2 可动正离子 | 第29-30页 |
| 4.1.3 慢俘获作用 | 第30页 |
| 4.1.4 电离陷阱 | 第30-31页 |
| 4.1.5 氧化物外表面电荷 | 第31页 |
| 4.1.6 SiO_2-Si系统中的电荷综述 | 第31-32页 |
| 4.2 氯化氢氧化工艺 | 第32-34页 |
| 4.2.1 氯化氢氧化的作用 | 第32-33页 |
| 4.2.2 氯化氢氧化工艺 | 第33-34页 |
| 4.3 磷硅玻璃钝化工艺 | 第34页 |
| 4.3.1 磷硅玻璃膜的作用 | 第34页 |
| 4.3.2 PSG膜的制备 | 第34页 |
| 4.4 氮化硅钝化工艺 | 第34-36页 |
| 4.4.1 氮化硅膜的性质 | 第34-35页 |
| 4.4.2 氮化硅膜的制备 | 第35-36页 |
| 4.5 三氧化二铝钝化工艺 | 第36-37页 |
| 4.6 PECVD沉积SiOx薄膜的研究 | 第37-43页 |
| 4.6.1 射频功率 | 第37-38页 |
| 4.6.2 气压 | 第38-40页 |
| 4.6.3 气体总流里 | 第40-41页 |
| 4.6.4 N2O/SiH4流量比 | 第41-43页 |
| 4.6.5 温度 | 第43页 |
| 4.6.6 SiOx膜最佳沉积条件的确定 | 第43页 |
| 4.7 不同钝化结构的减反钝化性能对比 | 第43-45页 |
| 4.7.1 反射率 | 第44页 |
| 4.7.2 少子寿命 | 第44-45页 |
| 4.8 太阳电池的电性能 | 第45-46页 |
| 4.8.1 量子效率 | 第45-46页 |
| 4.8.2 伏安特性 | 第46页 |
| 4.9 SiNx氮化硅膜实验设计与结果 | 第46-50页 |
| 4.9.1 三层氮化硅膜实验 | 第46-47页 |
| 4.9.2 折射率与电池功率的关系实验 | 第47-50页 |
| 4.10 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 新型印刷工艺的研究和实验 | 第51-62页 |
| 5.1 电极银浆的简介 | 第51页 |
| 5.2 银浆材料信息 | 第51-52页 |
| 5.2.1 银微粒的含量 | 第51页 |
| 5.2.2 银微粒的形态 | 第51-52页 |
| 5.2.3 其他添加物 | 第52页 |
| 5.3 浆料成分对浆料电性能的影响 | 第52-53页 |
| 5.4 保温时间对电阻率的影响 | 第53页 |
| 5.5 烧结峰值温度对电阻率的影响 | 第53-54页 |
| 5.6 印刷工艺调校与提升 | 第54-55页 |
| 5.6.1 刮刀校准方法 | 第54页 |
| 5.6.2 刮刀水平调整方法 | 第54页 |
| 5.6.3 网版校准方法 | 第54-55页 |
| 5.7 高效银浆实验分析报告 | 第55-60页 |
| 5.7.1 SS 8700系列正银(IPS18和IPS20)测试 | 第55页 |
| 5.7.2 实验过程 | 第55-59页 |
| 5.7.3 实验结论 | 第59-60页 |
| 5.8 无网结网版实验分析报告 | 第60-61页 |
| 5.8.1 常规网版与无网结的区别 | 第60页 |
| 5.8.2 目前实现无网结的方法 | 第60页 |
| 5.8.3 实验报告 | 第60-61页 |
| 5.9 本章小结 | 第61-62页 |
| 第6章 总结与展望 | 第62-63页 |
| 6.1 总结 | 第62页 |
| 6.2 下一步工作 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 作者在读期间发表的学术论文及参加的科研项目 | 第68页 |