| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第6-15页 |
| 1.1 传感器 | 第6页 |
| 1.2 气体传感器分类 | 第6-7页 |
| 1.3 金属氧化物半导体传感器材料 | 第7-9页 |
| 1.4 不同形貌的金属氧化物半导体气敏材料 | 第9-10页 |
| 1.5 介孔材料简述 | 第10-11页 |
| 1.6 介孔结构材料对气敏性能的影响 | 第11页 |
| 1.7 金属离子掺杂对金属氧化物半导体气敏性能的影响 | 第11-12页 |
| 1.8 气敏性能测试参数 | 第12-13页 |
| 1.9 本文研究意义和思路 | 第13-15页 |
| 第二章 实验部分 | 第15-20页 |
| 2.1 实验试剂和仪器设备 | 第15-16页 |
| 2.2 表征方法及原理 | 第16-20页 |
| 第三章 介孔Cr_2O_3材料制备以及对甲醛气体的敏感性测试 | 第20-43页 |
| 3.1 引言 | 第20页 |
| 3.2 材料制备方法 | 第20-23页 |
| 3.3 材料结构表征 | 第23-29页 |
| 3.4 降低前驱体填充量对介孔Cr_2O_3气敏性能影响 | 第29-34页 |
| 3.5 不同煅烧温度制备介孔Cr_2O_3对气敏性能影响 | 第34-36页 |
| 3.6 双溶剂法制备介孔Cr_2O_3 | 第36-40页 |
| 3.7 涂膜次数对甲醛敏感性能的影响 | 第40-42页 |
| 3.8 小结 | 第42-43页 |
| 第四章 Fe~(3+)、In~(3+)、La~(3+)、Ce~(3+)掺杂介孔Cr_2O_3对甲醛气敏性能的影响 | 第43-54页 |
| 4.1 引言 | 第43-44页 |
| 4.2 Fe~(3+)、In~(3+)、La~(3+)、Ce~(3+)掺杂介孔Cr_2O_3的制备 | 第44页 |
| 4.3 Fe~(3+)、In~(3+)、La~(3+)、Ce~(3+)掺杂介孔Cr_2O_3的结构表征及气敏性能分析 | 第44-48页 |
| 4.4 不同浓度In~(3+)掺杂介孔Cr_2O_3的结构表征及气敏性能分析 | 第48-52页 |
| 4.5 小结 | 第52-54页 |
| 第五章 Ni~(2+)、Sn~(4+)、W~(6+)离子掺杂介孔Cr_2O_3对甲醛气敏性能的影响 | 第54-65页 |
| 5.1 引言 | 第54页 |
| 5.2 Sn~(4+)、W~(6+)、Ni~(2+)掺杂介孔Cr_2O_3的制备 | 第54-55页 |
| 5.3 Sn~(4+)、W(~6+)掺杂介孔Cr_2O_3的结构表征及气敏性能分析 | 第55-58页 |
| 5.4 不同浓度Sn~(4+)掺杂介孔Cr_2O_3的结构表征及气敏性能分析 | 第58-61页 |
| 5.5 Ni~(2+)掺杂的Cr_2O_3的结构表征及气敏性能分析 | 第61-63页 |
| 5.6 小结 | 第63-65页 |
| 第六章 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 个人简介 | 第74页 |
