大范围白光干涉光学轮廓仪结构设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-11页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第8页 |
| 1.2 表面轮廓测量仪发展及现状 | 第8-10页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第10页 |
| 1.4 本章小结 | 第10-11页 |
| 2 大范围白光干涉仪总体方案 | 第11-17页 |
| 2.1 白光干涉测量原理 | 第11-13页 |
| 2.2 系统方案 | 第13-16页 |
| 2.3 技术指标 | 第16页 |
| 2.4 本章小结 | 第16-17页 |
| 3 大范围垂直扫描结构设计 | 第17-40页 |
| 3.1 结构方案 | 第17-18页 |
| 3.2 垂直驱动工作台设计 | 第18-32页 |
| 3.3 支承件分析 | 第32-35页 |
| 3.4 其他部件 | 第35-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 大范围水平扫描结构设计 | 第40-49页 |
| 4.1 结构方案 | 第40-41页 |
| 4.2 机械结构设计 | 第41-43页 |
| 4.3 关键部件设计 | 第43-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 5 计量系统设计 | 第49-55页 |
| 5.1 光栅干涉传感器原理 | 第49-50页 |
| 5.2 光路设计 | 第50-52页 |
| 5.3 选型设计 | 第52-54页 |
| 5.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 6 系统构建与实验测试 | 第55-65页 |
| 6.1 垂直工作台测试及误差分析 | 第56-58页 |
| 6.2 水平工作台测试及误差分析 | 第58-60页 |
| 6.3 标准样件的测试 | 第60-64页 |
| 6.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 7 总结与展望 | 第65-67页 |
| 7.1 总结 | 第65页 |
| 7.2 展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录I 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第72-73页 |
| 附录II 实验数据 | 第73-78页 |
