| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 半导体金属氧化物 | 第10-16页 |
| 1.2.1 概述 | 第10-11页 |
| 1.2.2 常见类型分类 | 第11-12页 |
| 1.2.3 半导体氧化物制备方法 | 第12-14页 |
| 1.2.4 半导体氧化物的应用 | 第14-16页 |
| 1.3 气敏传感器 | 第16-20页 |
| 1.3.1 概述 | 第16页 |
| 1.3.2 半导体气敏元件制作及工作原理 | 第16-17页 |
| 1.3.3 电阻式半导体氧化物传感器及敏感机理 | 第17-19页 |
| 1.3.4 性能参数 | 第19-20页 |
| 1.4 论文选题目的和主要研究内容 | 第20-22页 |
| 1.4.1 选题目的 | 第20页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 实验及表征方法 | 第22-26页 |
| 2.1 实验试剂 | 第22-23页 |
| 2.2 实验仪器 | 第23页 |
| 2.3 表征方法 | 第23-26页 |
| 2.3.1 X射线粉末衍射仪(XRD) | 第23-24页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜-能谱仪(SEM-EDS) | 第24页 |
| 2.3.3 透射电子显微镜(TEM) | 第24页 |
| 2.3.4 NMDOG多功能精密传感器分析测试仪 | 第24-26页 |
| 第3章 二氧化锡空心微球的制备及其气敏性能探究 | 第26-40页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 实验部分 | 第26-27页 |
| 3.2.1 空心球形二氧化锡样品的制备 | 第26页 |
| 3.2.2 考察实验条件对产物形貌的影响 | 第26-27页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第27-38页 |
| 3.3.1 XRD分析 | 第27-28页 |
| 3.3.2 SEM、TEM分析 | 第28-32页 |
| 3.3.3 空心球形氧化锌的形成机理 | 第32页 |
| 3.3.4 空心球形二氧化锡气敏性能测试与分析 | 第32-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 纳米片组装花状/球状氧化锌的制备及其气敏性能探究 | 第40-52页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 实验部分 | 第40-42页 |
| 4.2.1 花状/球状氧化锌的制备 | 第40页 |
| 4.2.2 考察实验条件对产物形貌的影响 | 第40-42页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第42-50页 |
| 4.3.1 XRD分析 | 第42页 |
| 4.3.2 SEM分析 | 第42-47页 |
| 4.3.3 花状氧化锌的形成机理 | 第47页 |
| 4.3.4 花状/球状氧化锌气敏性能测试 | 第47-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第5章 六棱台/花状氧化锌的合成与气敏性能研究 | 第52-62页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 实验部分 | 第52-53页 |
| 5.2.1 六棱台形氧化锌的制备 | 第52-53页 |
| 5.2.2 考察实验条件对产物形貌的影响 | 第53页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第53-60页 |
| 5.3.1 XRD分析 | 第53-55页 |
| 5.3.2 SEM分析 | 第55-57页 |
| 5.3.3 六棱台形氧化锌气敏性能测试 | 第57-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |