| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题背景及研究目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3 课题来源 | 第14-15页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 扫描器结构设计及分析 | 第16-24页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 十二分压电陶瓷管扫描器 | 第16-23页 |
| 2.2.1 扫描器结构设计 | 第16-17页 |
| 2.2.2 扫描器结构参数设计 | 第17-21页 |
| 2.2.3 扫描器模态分析 | 第21-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 扫描器系统建立 | 第24-38页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 扫描系统实现 | 第24-37页 |
| 3.2.1 系统总体方案 | 第24-25页 |
| 3.2.2 标定系统设计 | 第25-31页 |
| 3.2.3 激光光路系统设计 | 第31-36页 |
| 3.2.4 扫描器系统实现 | 第36-37页 |
| 3.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 系统控制方案及迟滞模型 | 第38-49页 |
| 4.1 引言 | 第38页 |
| 4.2 系统控制方案设计 | 第38-39页 |
| 4.3 迟滞模型 | 第39-47页 |
| 4.3.1 模型分类 | 第39页 |
| 4.3.2 Prandtl-Ishlinskii(p-I) 模型 | 第39-47页 |
| 4.4 PID 控制原理简介 | 第47-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 系统性能测试及实验研究 | 第49-66页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 扫描器工作范围测定 | 第49-53页 |
| 5.2.1 X、Y 轴方向工作范围测定 | 第49-51页 |
| 5.2.2 Z 轴方向工作范围测定 | 第51-53页 |
| 5.3 X、Y 轴方向迟滞模型及逆模型构建 | 第53-64页 |
| 5.3.1 X、Y 轴方向位移-电压迟滞模型及逆模型识别构建 | 第54-58页 |
| 5.3.2 X、Y 轴方向电荷-电压迟滞模型及逆模型识别构建 | 第58-62页 |
| 5.3.3 X、Y 轴方向位移-电荷迟滞模型识别构建 | 第62-64页 |
| 5.4 扫描器定位特性测试 | 第64-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 附录 实验数据 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及专利 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
