基于电容的可控脉冲微细电解加工研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.1.1 微细电解加工技术概述 | 第10-11页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 实验平台研制及电极制备 | 第18-30页 |
| 2.1 实验平台设计 | 第18-21页 |
| 2.2 控制系统设计 | 第21-25页 |
| 2.3 电极制备实验装置 | 第25-26页 |
| 2.4 电极制备实验原理 | 第26-27页 |
| 2.4.1 双电层原理 | 第26页 |
| 2.4.2 等效电路模型 | 第26-27页 |
| 2.5 电极制备 | 第27-29页 |
| 2.5.1 电极制备的步骤 | 第27-28页 |
| 2.5.2 电极制作中的问题分析 | 第28-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 基于电阻的微细电解加工 | 第30-42页 |
| 3.1 理论推导 | 第30-33页 |
| 3.2 极间加工电压 | 第33-36页 |
| 3.3 基于电阻的微孔加工 | 第36-39页 |
| 3.4 基于电阻的微槽加工 | 第39-40页 |
| 3.5 基于电阻的微梁加工 | 第40-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 基于电容的微细电解加工 | 第42-64页 |
| 4.1 基于电容的电解加工模型分析 | 第42-45页 |
| 4.2 微孔加工中影响因素分析 | 第45-51页 |
| 4.3 基于电容的微孔加工实验 | 第51-54页 |
| 4.3.1 微孔加工问题分析 | 第51-52页 |
| 4.3.2 电容对微孔加工精度的影响 | 第52-54页 |
| 4.4 基于电容的微槽加工 | 第54-57页 |
| 4.4.1 加工参数对微槽的影响 | 第54-55页 |
| 4.4.2 电容对微槽加工的影响 | 第55-57页 |
| 4.5 基于电容的微梁加工 | 第57-63页 |
| 4.5.1 U型悬臂梁加工 | 第57-58页 |
| 4.5.2 螺旋悬臂梁加工 | 第58-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 基于电容的 3D微结构铣削加工 | 第64-77页 |
| 5.1 圆形凸台的铣削加工 | 第64-67页 |
| 5.1.1 圆形凸台加工程序 | 第64-66页 |
| 5.1.2 圆形凸台铣削 | 第66-67页 |
| 5.2 方形凸台的铣削加工 | 第67-76页 |
| 5.2.1 方形凸台加工程序 | 第67-69页 |
| 5.2.2 加工参数对方形凸台铣削的影响 | 第69-73页 |
| 5.2.3 加工过程中遇到问题及解决办法 | 第73-76页 |
| 5.3 本章小结 | 第76-77页 |
| 结论 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 附录 | 第82-87页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88页 |
