| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-21页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 Σ-Δ 微加速度计系统的工作原理 | 第23-35页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 微加速度计敏感结构的等效数学模型 | 第23-25页 |
| 2.3 差分电容检测信号的基本原理 | 第25-27页 |
| 2.4 Σ-Δ 调制原理 | 第27-31页 |
| 2.4.1 过采样技术 | 第27-28页 |
| 2.4.2 噪声整形 | 第28-31页 |
| 2.5 数字抽样滤波技术 | 第31-32页 |
| 2.6 Σ-Δ 微机械加速度计的基本结构 | 第32-34页 |
| 2.8 小结 | 第34-35页 |
| 第三章 五阶高Q值的 Σ-Δ 微加速度计系统模型的设计及仿真 | 第35-50页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 系统结构和参数的设计 | 第35-36页 |
| 3.3 Σ-Δ 加速度计系统的离散化 | 第36-38页 |
| 3.4 五阶高Q结构的 Σ-Δ 微加速度计参数设计 | 第38-40页 |
| 3.5 非理想因素对 Σ-Δ 微加速度计系统的分析 | 第40-49页 |
| 3.5.1 理想情况及仿真 | 第40-43页 |
| 3.5.2 运放噪声 | 第43页 |
| 3.5.3 开关热噪声 | 第43-44页 |
| 3.5.4 时钟抖动 | 第44-46页 |
| 3.5.5 积分器的非理想特性 | 第46-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 五阶高Q值的 Σ-Δ 微加速度计稳定性分析 | 第50-58页 |
| 4.1 引言 | 第50-52页 |
| 4.2 五阶高Q Σ-Δ 微加速度计的稳定系分析 | 第52-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 五阶高Q值的 Σ-Δ 微加速度计系统电路设计 | 第58-73页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 高Q值的电路模型 | 第58-60页 |
| 5.3 电荷放大器的设计 | 第60-62页 |
| 5.4 相位补偿电路设计 | 第62-63页 |
| 5.5 采样保持 | 第63-64页 |
| 5.6 单位增益缓冲器 | 第64-67页 |
| 5.7 三阶 Σ-Δ 调制器 | 第67页 |
| 5.8 时钟产生电路 | 第67-69页 |
| 5.9 五阶高Q值的 Σ-Δ 微加速度计电路仿真 | 第69-72页 |
| 5.10 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
