| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| 1.1 光学薄膜的发展 | 第7-8页 |
| 1.2 本课题的研究背景 | 第8-10页 |
| 1.3 反射膜和吸收膜的发展 | 第10-11页 |
| 1.4 本课题的主要研究内容 | 第11-12页 |
| 第二章 光学薄膜的基本理论 | 第12-18页 |
| 2.1 光学薄膜的特性计算 | 第12-14页 |
| 2.2 干涉截止滤光膜 | 第14-17页 |
| 2.3 薄膜的吸收 | 第17-18页 |
| 第三章 紫外固化系统热辐射滤光膜的工艺参数和膜系设计 | 第18-34页 |
| 3.1 紫外固化系统热辐射滤光膜的技术要求 | 第18页 |
| 3.2 基底材料和镀膜材料的研究 | 第18-21页 |
| 3.3 工艺参数的研究 | 第21-22页 |
| 3.4 计算膜层光学常数和Tooling Factor | 第22-27页 |
| 3.5 膜系设计 | 第27-34页 |
| 第四章 薄膜沉积与测试技术 | 第34-42页 |
| 4.1 镀膜设备 | 第35-36页 |
| 4.2 蒸发技术和辅助沉积技术 | 第36-38页 |
| 4.3 监控方法 | 第38-39页 |
| 4.4 测试技术 | 第39-42页 |
| 第五章 紫外固化系统热辐射滤光膜的制备与检测分析 | 第42-52页 |
| 5.1 制备工艺流程 | 第42-43页 |
| 5.2 实验过程中所遇到的问题及其解决办法 | 第43-50页 |
| 5.3 环境测试 | 第50-52页 |
| 第六章 总结与展望 | 第52-54页 |
| 6.1 工作总结 | 第52-53页 |
| 6.2 创新点 | 第53页 |
| 6.3 不足和展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 附录 | 第57页 |