沉淀法制备氧化锌以及铟镓锌氧化物粉末的研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 前言 | 第10-11页 |
| 1.2 IGZO靶材制备的研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 ZnO以及IGZO粉末制备的研究现状 | 第15-19页 |
| 1.4 本论文的研究意义及研究内容 | 第19-21页 |
| 2 实验材料、仪器与方法 | 第21-24页 |
| 2.1 实验原料和仪器 | 第21-22页 |
| 2.2 实验工艺流程 | 第22页 |
| 2.3 测试与表征 | 第22-24页 |
| 3 ZnO粉末的制备 | 第24-47页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 花状多孔ZnO | 第24-31页 |
| 3.3 片状多孔ZnO | 第31-33页 |
| 3.4 杆状ZnO | 第33-35页 |
| 3.5 管状ZnO | 第35-39页 |
| 3.6 花状ZnO | 第39-41页 |
| 3.7 均匀等轴状ZnO | 第41-45页 |
| 3.8 本章小结 | 第45-47页 |
| 4 IGZO粉末的制备与烧结 | 第47-68页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 共沉淀法制备IGZO粉末 | 第47-57页 |
| 4.3 分步沉淀法制备IGZO粉末 | 第57-62页 |
| 4.4 IGZO粉末的烧结 | 第62-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 5 全文总结 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-78页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第78页 |
