压电主动控制气浮支承动刚度增强机制研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 主动气浮支承刚度增强机制研究的来源及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外主动气浮支承研究现状 | 第8-12页 |
| 1.3 本文的主要内容与组织结构 | 第12-13页 |
| 2 压电主动控制气浮支承模型的建立 | 第13-27页 |
| 2.1 引言 | 第13页 |
| 2.2 压电主动控制气浮支承工作原理及特点 | 第13-14页 |
| 2.3 压电主动控制气浮支承的结构 | 第14-20页 |
| 2.4 气浮支承润滑的基本理论 | 第20-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 压电主动控制气浮支承流体仿真分析 | 第27-48页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 非均匀气膜静态流体仿真分析 | 第27-38页 |
| 3.3 非均匀气膜流体瞬态仿真分析 | 第38-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 压电主动控制气浮支承性能测试实验 | 第48-61页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 实验平台的搭建 | 第48-50页 |
| 4.3 气膜静态特性实验验证 | 第50-53页 |
| 4.4 气膜动态刚度特性实验验证 | 第53-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 5 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 全文总结 | 第61页 |
| 5.2 研究展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录 攻读硕士阶段专利成果 | 第67页 |