| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外生产线及优化技术发展现状 | 第10-13页 |
| 1.3 课题的提出 | 第13-14页 |
| 1.4 本文主要研究内容及文章结构 | 第14-15页 |
| 1.5 本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 单晶硅生产线仿真与优化需求分析 | 第16-22页 |
| 2.1 单晶硅生产线设计与需求 | 第16-20页 |
| 2.2.1 单晶硅生产线的精益生产分析 | 第16-17页 |
| 2.2.2 基于精益化生产模式的单晶硅生产流程 | 第17-19页 |
| 2.2.3 精益化生产模式对单晶硅生产线生产效率的要求 | 第19-20页 |
| 2.2 单晶硅生产线存在的问题及其解决办法 | 第20-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 单晶硅生产线仿真与优化建模方法研究 | 第22-35页 |
| 3.1 离散事件的仿真方法研究 | 第22-23页 |
| 3.1.1 离散事件系统的基本研究 | 第22-23页 |
| 3.1.2 仿真概念及方法 | 第23页 |
| 3.2 单晶硅生产线仿真优化建模 | 第23-30页 |
| 3.2.1 单晶硅生产线仿真优化的要素及其属性 | 第23-25页 |
| 3.2.2 单晶硅生产线的特点及其简化 | 第25-30页 |
| 3.3 单晶硅生产线仿真软件分析及指标实现 | 第30-34页 |
| 3.3.1 ExtendSim仿真软件分析 | 第31-32页 |
| 3.3.2 仿真模型及其评价指标体系在建模过程中的实现形式 | 第32-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 基于ExtendSim的单晶硅生产线的仿真与优化 | 第35-56页 |
| 4.1 基于ExtendSim的单晶硅生产线建模 | 第35-44页 |
| 4.1.1 单晶硅生产线的仿真建模 | 第36-44页 |
| 4.2 单晶硅生产线仿真分析 | 第44-50页 |
| 4.3 单晶硅生产线的优化改进 | 第50-55页 |
| 4.3.1 单晶硅生产线生产周期的优化改进 | 第50-51页 |
| 4.3.2 单晶硅生产线过检工艺段的优化 | 第51-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 结论与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 结论 | 第56页 |
| 5.2 展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表情况 | 第62页 |
