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银纳米线薄膜作为垂直腔面发射激光器电流扩展层的研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-24页
    1.1 VCSELs概述第10-15页
        1.1.1 VCSELs的概念第10-12页
        1.1.2 VCSELs的优势第12-14页
        1.1.3 VCSELs的研究方向及应用第14-15页
    1.2 电流均匀分布VCSELs的研究意义与研究现状第15-20页
        1.2.1 电流均匀分布VCSELs研究意义第15-16页
        1.2.2 电流均匀分布VCSELs研究现状第16-20页
    1.3 银纳米线透明导电膜的发展与应用第20-21页
    1.4 本论文的研究工作第21-24页
第2章 VCSELs基本理论第24-38页
    2.1 VCSELs基本结构和工作原理第24-27页
        2.1.1 VCSELs基本结构第24-26页
        2.1.2 VCSELs工作原理第26-27页
    2.2 VCSELs反射镜第27-30页
        2.2.1 DBR的工作原理第28-30页
        2.2.2 周期对数对DBR的影响第30页
    2.3 VCSELs特性参数第30-33页
    2.4 VCSELs中载流子浓度分布特性第33-36页
    2.5 本章小结第36-38页
第3章 电流均匀分布VCSELs器件制备第38-50页
    3.1 工艺流程第39-41页
    3.2 器件制备关键工艺第41-45页
        3.2.1 湿法腐蚀第41-43页
        3.2.2 湿氮氧化第43-45页
    3.3 银纳米线结构及其特性第45-48页
        3.3.1 银纳米线结构第45-46页
        3.3.2 银纳米线特性第46-47页
        3.3.3 旋涂方法铺设银纳米线第47-48页
    3.4 本章小结第48-50页
第4章 测试结果与分析第50-60页
    4.1 不同氧化孔径器件P-I-V特性第52-53页
    4.2 有无银纳米器件性能参数对比第53-58页
        4.2.1 P-I-V特性对比第53-55页
        4.2.2 串联电阻分析第55-56页
        4.2.3 器件光谱测试分析第56-57页
        4.2.4 近场和远场测试分析第57-58页
    4.3 本章小结第58-60页
第5章 总结与展望第60-62页
参考文献第62-68页
攻读硕士期间发表的论文第68-70页
致谢第70-71页

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