| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 压电驱动器迟滞的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 微操作平台运动控制的研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3.1 开环控制 | 第12-13页 |
| 1.3.2 闭环控制 | 第13-15页 |
| 1.3.3 复合控制 | 第15-16页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 基于支持向量机的压电驱动器迟滞非线性建模与实验验证 | 第18-30页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 压电驱动器的Preisach模型 | 第18-20页 |
| 2.3 基于支持向量机的迟滞非线性模型 | 第20-24页 |
| 2.4 实验验证 | 第24-28页 |
| 2.4.1 实验配置 | 第24页 |
| 2.4.2 压电驱动器的迟滞非线性模型的实验验证 | 第24-28页 |
| 2.5 结论 | 第28-30页 |
| 第三章 压电式微操作平台的复合控制 | 第30-44页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 建立微操作平台的迟滞模型 | 第30-32页 |
| 3.3 复合控制器设计 | 第32-37页 |
| 3.3.1 建立离散Preisach逆模型 | 第32-34页 |
| 3.3.2 复合控制器 | 第34-35页 |
| 3.3.3 微操作平台的模型 | 第35-37页 |
| 3.4 实验验证 | 第37-43页 |
| 3.4.1 确定平台传递函数 | 第37-40页 |
| 3.4.2 获得Preisach逆模型 | 第40-41页 |
| 3.4.3 实验验证 | 第41-43页 |
| 3.5 结论 | 第43-44页 |
| 第四章 基于单神经元PID的微操作平台运动跟踪控制 | 第44-51页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 基于RBF神经网络的单神经元PID控制 | 第44-48页 |
| 4.3 实验验证 | 第48-50页 |
| 4.4 结论 | 第50-51页 |
| 第五章 基于模糊控制的微操作平台位置精度补偿方法 | 第51-63页 |
| 5.1 引言 | 第51页 |
| 5.2 微操作平台的迟滞现象 | 第51-52页 |
| 5.3 模糊控制器设计 | 第52-55页 |
| 5.3.1 模糊化 | 第52-54页 |
| 5.3.2 模糊规则制定 | 第54-55页 |
| 5.4 实验验证 | 第55-59页 |
| 5.4.1 确定模糊规则 | 第55-57页 |
| 5.4.2 位移跟踪 | 第57-59页 |
| 5.5 三种控制算法的比较分析 | 第59-62页 |
| 5.6 结论 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 主要工作与结论 | 第63页 |
| 6.2 创新点 | 第63-64页 |
| 6.3 研究展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第69-70页 |