| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 PZT压电薄膜的研究现状与制备方法 | 第9-15页 |
| 1.3 PZT压电材料的结构与性质 | 第15-19页 |
| 1.4 论文的研究意义和研究内容 | 第19-20页 |
| 2 PZT溶胶凝胶的配制与PZT薄膜表征方法 | 第20-29页 |
| 2.1 PZT溶胶凝胶的配制 | 第20-21页 |
| 2.2 PZT溶胶凝胶的旋涂方法 | 第21-23页 |
| 2.2.1 溶胶凝胶的旋涂 | 第21-22页 |
| 2.2.2 PZT薄膜热处理步骤 | 第22-23页 |
| 2.3 PZT薄膜的表征方法 | 第23-28页 |
| 2.3.1 PZT薄膜厚度的表征方法 | 第23-24页 |
| 2.3.2 PZT薄膜晶向的表征方法 | 第24-25页 |
| 2.3.3 PZT薄膜微观形貌的表征方法 | 第25-26页 |
| 2.3.4 PZT薄膜介电性能的表征方法 | 第26页 |
| 2.3.5 PZT薄膜极化性能的表征方法 | 第26-27页 |
| 2.3.6 PZT薄膜振动性能的表征方法 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 PZT薄膜的制备与表征 | 第29-50页 |
| 3.1 概述 | 第29-32页 |
| 3.2 多晶PZT薄膜的制备与表征 | 第32-40页 |
| 3.2.1 不同退火温度制得的PZT薄膜晶向与微观结构表征 | 第32-36页 |
| 3.2.2 不同退火时间制得的PZT薄膜晶向与微观结构表征 | 第36-37页 |
| 3.2.3 不同铅含量的溶液制得的PZT薄膜晶向与微观结构表征 | 第37-40页 |
| 3.3 (100)取向PZT薄膜的制备与表征 | 第40-47页 |
| 3.3.1 (100)取向PZT薄膜的制备与晶向结构表征 | 第40-44页 |
| 3.3.2 (100)取向PZT薄膜的微观结构表征 | 第44-46页 |
| 3.3.3 (100)取向PZT薄膜的介电性能表征 | 第46-47页 |
| 3.3.4 (100)取向PZT薄膜的极化性能表征 | 第47页 |
| 3.4 PZT薄膜(100)方向择优生长机理 | 第47-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 掺杂PZT薄膜的制备与表征 | 第50-61页 |
| 4.1 概述 | 第50页 |
| 4.2 PYZT薄膜的制备与表征 | 第50-54页 |
| 4.2.1 PYZT薄膜的晶向结构表征 | 第50-52页 |
| 4.2.2 PYZT薄膜的极化性能表征 | 第52-53页 |
| 4.2.3 PYZT薄膜的介电性能表征 | 第53-54页 |
| 4.3 PMZT薄膜的制备与表征 | 第54-57页 |
| 4.3.1 PMZT薄膜的晶向结构表征 | 第54-55页 |
| 4.3.2 PMZT薄膜的极化性能表征 | 第55-56页 |
| 4.3.3 PMZT薄膜的介电性能表征 | 第56-57页 |
| 4.4 PSZT薄膜的制备与表征 | 第57-60页 |
| 4.4.1 PSZT薄膜的晶向结构表征 | 第57-58页 |
| 4.4.2 PSZT薄膜的极化性能表征 | 第58-59页 |
| 4.4.3 PSZT薄膜的介电性能表征 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 压电微执行器的制作与性能表征 | 第61-68页 |
| 5.1 概述 | 第61-64页 |
| 5.2 压电微执行器的制作 | 第64-65页 |
| 5.3 压电微执行器的振动性能表征 | 第65-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
