| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 全固态锂离子电池 | 第11-13页 |
| 1.2.1 全固态锂离子电池的主要性能参数 | 第12-13页 |
| 1.3 固态电解质层 | 第13-17页 |
| 1.3.1 发展历程 | 第13页 |
| 1.3.2 导电机制 | 第13-14页 |
| 1.3.3 聚合物电解质和硫化物电解质 | 第14-15页 |
| 1.3.4 固态电解质LiPON | 第15-17页 |
| 1.4 电极材料 | 第17-18页 |
| 1.5 论文主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 薄膜制备技术及表征 | 第20-31页 |
| 2.1 薄膜制备技术 | 第20-21页 |
| 2.1.1 物理气相沉积 | 第20-21页 |
| 2.1.2 化学气相沉积 | 第21页 |
| 2.2 磁控溅射 | 第21-26页 |
| 2.2.1 等离子体 | 第21-23页 |
| 2.2.2 溅射过程 | 第23-24页 |
| 2.2.3 射频磁控溅射 | 第24-25页 |
| 2.2.4 磁控溅射设备 | 第25-26页 |
| 2.3 材料表征 | 第26-30页 |
| 2.3.1 光电子能谱（XPS） | 第26-27页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜（SEM） | 第27页 |
| 2.3.3 X射线衍射（XRD） | 第27-28页 |
| 2.3.4 交流阻抗谱 | 第28-29页 |
| 2.3.5 膜厚测试 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 LiPON固态电解质薄膜制备及表征 | 第31-47页 |
| 3.1 溅射温度对LiPON固态电解质薄膜的影响 | 第31-36页 |
| 3.1.1 实验 | 第31-35页 |
| 3.1.2 溅射温度对LiPON固态电解质薄膜的影响 | 第35-36页 |
| 3.2 溅射工艺参数对Li PON电解质薄膜的影响 | 第36-39页 |
| 3.2.1 溅射工艺参数对薄膜中N元素含量的影响 | 第36-37页 |
| 3.2.2 溅射工艺参数对沉积速率的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.3 薄膜中N元素含量对离子电导率的影响 | 第38-39页 |
| 3.3 LiPON固态电解质性能研究 | 第39-45页 |
| 3.3.1 LiPON固态电解质性能测试 | 第39-41页 |
| 3.3.2 Al电极性能测试 | 第41-43页 |
| 3.3.3 Al-LiPON-Al三明治结构的制备及离子电导率测试 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 退火处理对LiPON性能的影响 | 第47-58页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 实验 | 第47-48页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第48-57页 |
| 4.3.1 退火后XRD测试结果 | 第48-50页 |
| 4.3.2 退火后SEM测试结果 | 第50-52页 |
| 4.3.3 退火后XPS测试结果 | 第52-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 水解对LiPON固态电解质薄膜性能的影响 | 第58-67页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 实验 | 第58-59页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第59-66页 |
| 5.3.1 XPS测试结果 | 第59-64页 |
| 5.3.2 SEM测试结果 | 第64-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 总结 | 第67-68页 |
| 6.2 课题展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 在学期间研究成果 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
