| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-28页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·直线电机特点、分类及直线驱动技术发展 | 第12-18页 |
| ·直线电机的特点及其分类 | 第12-13页 |
| ·直线驱动技术的发展 | 第13-18页 |
| ·超磁致伸缩材料概述及其磁滞模型 | 第18-22页 |
| ·超磁致伸缩材料概述 | 第18-20页 |
| ·超磁致伸缩材料的磁滞模型 | 第20-22页 |
| ·尺蠖型直线电机工作原理及分类 | 第22-26页 |
| ·尺蠖直线电机的工作原理 | 第22-23页 |
| ·尺蠖驱动器的分类 | 第23-26页 |
| ·论文主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 小型超精密尺蠖直线电机方案设计与分析 | 第28-51页 |
| ·引言 | 第28-29页 |
| ·超磁致伸缩驱动器及尺蠖直线电机结构设计与分析 | 第29-50页 |
| ·小型超精密超磁致伸缩尺蠖直线电机方案设计 | 第29-39页 |
| ·超磁致伸缩驱动器(GMA)结构、工作原理及设计分析 | 第39-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第三章 基于柔性铰链的位移放大机构的详细设计、优化分析及其实验测试与分析 | 第51-76页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·基于柔性铰链的位移放大机构的详细设计与优化分析 | 第51-75页 |
| ·箝位杠杆型柔性机构的详细设计与优化分析 | 第52-59页 |
| ·中间推动部分桥式柔性机构的详细设计与优化分析 | 第59-68页 |
| ·基于柔性铰链的位移放大机构材料的选择与加工 | 第68-70页 |
| ·基于柔性铰链的位移放大机构的位移放大比的实验测试与分析 | 第70-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第四章 小型超精密尺蠖直线电机动力学建模及仿真 | 第76-89页 |
| ·引言 | 第76页 |
| ·动力学建模 | 第76-84页 |
| ·驱动机构动力学建模 | 第76-79页 |
| ·箝位部分动力学建模 | 第79-81页 |
| ·中间推动部分动力学建模 | 第81-83页 |
| ·全系统动力学建模 | 第83-84页 |
| ·系统仿真 | 第84-88页 |
| ·仿真模型 | 第84-85页 |
| ·电流幅值与电机输出的关系 | 第85-87页 |
| ·激励频率与电机输出的关系 | 第87-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第五章 小型超精密尺蠖直线电机实验测试研究 | 第89-105页 |
| ·引言 | 第89页 |
| ·实验设备与原理 | 第89-93页 |
| ·实验主要设备介绍 | 第89-92页 |
| ·实验测试平台的搭建 | 第92页 |
| ·实验测试原理 | 第92-93页 |
| ·直线电机控制信号研究 | 第93-94页 |
| ·直线电机开环运行测试 | 第94-100页 |
| ·输入电流幅值与运行速度的关系 | 第94-96页 |
| ·输入电流频率与运行速度的关系 | 第96-98页 |
| ·直线电机往返复位测试 | 第98-100页 |
| ·直线电机运动分辨率测试 | 第100-104页 |
| ·输出信号滤波 | 第101页 |
| ·直线电机单步分辨率实验测试 | 第101-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 第六章 小型超精密尺蠖直线电机精密定位控制系统的研究 | 第105-118页 |
| ·引言 | 第105页 |
| ·超磁致伸缩驱动器控制系统研究 | 第105-109页 |
| ·驱动器控制参量的选择 | 第105-106页 |
| ·驱动器控制系统介绍 | 第106-107页 |
| ·超磁致伸缩驱动器控制策略 | 第107-109页 |
| ·超磁致伸缩直线电机控制系统研究 | 第109-112页 |
| ·直线电机控制模型 | 第109页 |
| ·直线电机精密定位控制算法研究 | 第109-112页 |
| ·超磁致伸缩直线电机精密定位控制实验与分析 | 第112-117页 |
| ·初步闭环控制实验硬件和软件介绍 | 第112-113页 |
| ·初步闭环控制实验和分析 | 第113-115页 |
| ·定位误差分析 | 第115-117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 第七章 全文总结 | 第118-122页 |
| ·主要结论 | 第118-119页 |
| ·主要创新 | 第119页 |
| ·研究展望 | 第119-122页 |
| 参考文献 | 第122-127页 |
| 致谢 | 第127-128页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用论文 | 第128-129页 |
| 攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第129-130页 |
| 附件：小型超精密尺蠖直线电机关键部件装配图与零件图 | 第130-137页 |
