| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 符号说明 | 第9-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-24页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第16-18页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第18-22页 |
| 1.2.1 激光湿式刻蚀工作液体 | 第18-19页 |
| 1.2.2 激光背面湿式刻蚀过程的机理和材料去除模型 | 第19-21页 |
| 1.2.3 激光背面刻蚀过程的数值模拟与仿真 | 第21-22页 |
| 1.3 课题来源及研究内容 | 第22-23页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第22页 |
| 1.3.2 主要的研究内容 | 第22-23页 |
| 1.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 实验材料与装置 | 第24-35页 |
| 2.1 实验材料及物理特性 | 第24-28页 |
| 2.1.1 蓝宝石晶体结构及物理性能参数 | 第24-27页 |
| 2.1.2 沉积层的物理特性参数 | 第27-28页 |
| 2.1.3 工作液体的物理特性参数 | 第28页 |
| 2.2 实验装置及检测仪器 | 第28-31页 |
| 2.2.1 实验装置 | 第28-30页 |
| 2.2.2 样品参数及处理 | 第30页 |
| 2.2.3 检测仪器 | 第30-31页 |
| 2.3 实验参数研究与选择 | 第31-34页 |
| 2.3.1 脉冲重复频率的选择 | 第31页 |
| 2.3.2 激光能量密度的选择 | 第31-33页 |
| 2.3.3 扫描速度的选择 | 第33-34页 |
| 2.3.4 工作液体浓度的选择 | 第34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 激光背面湿式刻蚀蓝宝石过程研究 | 第35-43页 |
| 3.1 沉积层形成机理和形貌分析 | 第35-40页 |
| 3.1.1 沉积层形成的机理 | 第35-38页 |
| 3.1.2 沉积层的形貌分析 | 第38-40页 |
| 3.2 激光湿式刻蚀机理研究 | 第40页 |
| 3.3 刻槽形成过程研究 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 激光背面湿式刻蚀蓝宝石过程的数值模拟 | 第43-61页 |
| 4.1 热分析软件介绍 | 第43-44页 |
| 4.2 理论建模 | 第44-48页 |
| 4.2.1 基本假设 | 第44-45页 |
| 4.2.2 几何模型 | 第45-46页 |
| 4.2.3 网格划分 | 第46-48页 |
| 4.3 定义材料参数 | 第48-50页 |
| 4.4 控制方程与边界条件 | 第50-51页 |
| 4.5 加载求解 | 第51-54页 |
| 4.6 仿真结果与分析 | 第54-59页 |
| 4.6.1 脉冲作用下的温度场瞬态分析 | 第54-56页 |
| 4.6.2 不同脉冲能量密度下温度场 | 第56-57页 |
| 4.6.3 不同扫描速度作用下刻槽截面 | 第57-59页 |
| 4.6.4 不同扫描次数作用下刻槽轮廓 | 第59页 |
| 4.7 本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 激光背面湿式刻蚀蓝宝石实验研究 | 第61-74页 |
| 5.1 激光能量密度对刻槽尺寸的影响 | 第61-62页 |
| 5.2 扫描速度对刻槽尺寸的影响 | 第62-64页 |
| 5.3 扫描次数对刻槽尺寸的影响 | 第64-66页 |
| 5.4 模拟结果与实验结果对比 | 第66-71页 |
| 5.4.1 刻槽尺寸模拟结果与实验结果对比 | 第66-68页 |
| 5.4.2 刻槽轮廓形貌实验结果与仿真结果对比 | 第68-71页 |
| 5.5 激光背面湿式刻蚀工艺应用 | 第71-72页 |
| 5.6 本章小结 | 第72-74页 |
| 结论与展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文与专利 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83页 |