| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第16-24页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第16页 |
| 1.2 微球球度测量技术研究现状 | 第16-22页 |
| 1.2.1 微球球度测量技术分类 | 第16-17页 |
| 1.2.2 接触式测量技术研究进展 | 第17-20页 |
| 1.2.3 非接触式测量技术研究进展 | 第20-21页 |
| 1.2.4 其他新型测量技术研究进展 | 第21-22页 |
| 1.3 课题来源及本文主要研究内容 | 第22-24页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第22页 |
| 1.3.2 主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 微球球度测量系统工作机理 | 第24-32页 |
| 2.1 微球球度测量原理 | 第24-25页 |
| 2.2 微球球度测量系统总体方案设计 | 第25-26页 |
| 2.3 扫描探针测头对准方法 | 第26-32页 |
| 2.3.1 扫描探针测头倾角测量 | 第26-27页 |
| 2.3.2 扫描探针测头对准误差阈值分析 | 第27-28页 |
| 2.3.3 扫描探针测头对准方案设计 | 第28-32页 |
| 第三章 微球球度测量系统构建 | 第32-48页 |
| 3.1 扫描探针测头及一体式光纤探球构建 | 第32-37页 |
| 3.1.1 大长径比钨探针制备 | 第32-33页 |
| 3.1.2 石英音叉及扫描探针测头制备 | 第33-35页 |
| 3.1.3 一体式光纤探球制备 | 第35-37页 |
| 3.2 扫描探针测头装夹结构及被测微球旋转结构构建 | 第37-40页 |
| 3.2.1 扫描探针测头装夹结构构建 | 第37-38页 |
| 3.2.2 被测微球旋转结构构建 | 第38-40页 |
| 3.3 微动工作台构建 | 第40-41页 |
| 3.4 视频显微镜及精密微调平台 | 第41-44页 |
| 3.4.1 视频显微镜 | 第41-43页 |
| 3.4.2 精密微调平台 | 第43-44页 |
| 3.5 测量系统硬件电路设计 | 第44-48页 |
| 3.5.1 前置放大电路 | 第44-45页 |
| 3.5.2 振幅反馈控制电路 | 第45-48页 |
| 第四章 实验测试与分析 | 第48-59页 |
| 4.1 扫描探针测头特性测试 | 第48-50页 |
| 4.1.1 晶振测试 | 第48-49页 |
| 4.1.2 石英音叉测试 | 第49页 |
| 4.1.3 扫描探针测头测试 | 第49-50页 |
| 4.2 纳米定位工作台性能测试 | 第50-55页 |
| 4.2.1 纳米定位工作台行程测试 | 第51-53页 |
| 4.2.2 纳米定位工作台分辨率验证测试 | 第53-55页 |
| 4.3 扫描探针测头对准测试 | 第55-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 研究工作总结 | 第59页 |
| 5.2 工作展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第64-65页 |