基于原子点接触的纳米力学加速度计
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 加速度计的分类 | 第10页 |
| 1.2 常用加速度计 | 第10-16页 |
| 1.2.1 重锤式加速度计 | 第10-12页 |
| 1.2.2 液浮摆式加速度计 | 第12-13页 |
| 1.2.3 振弦式加速度 | 第13-14页 |
| 1.2.4 硅微机械加速度计 | 第14-15页 |
| 1.2.5 摆式陀螺加速度计 | 第15-16页 |
| 1.3 加速度计的性能指标 | 第16-17页 |
| 1.4 惯性导航系统对加速度计性能的要求 | 第17页 |
| 1.5 本文结构 | 第17-19页 |
| 第二章 单分子器件的研究 | 第19-35页 |
| 2.1 单分子器件在电子输运上的研究 | 第19-22页 |
| 2.2 单分子器件的近藤效应 | 第22-25页 |
| 2.3 单分子器件的库仑阻塞 | 第25-30页 |
| 2.4 单分子器件的热耗散研究 | 第30-33页 |
| 2.5 小结 | 第33-35页 |
| 第三章 单分子加速度计 | 第35-59页 |
| 3.1 单分子加速度计的设计 | 第35-37页 |
| 3.2 单分子加速度计的工作原理 | 第37-39页 |
| 3.3 纳米机械振子的加工方法及相关技术 | 第39-47页 |
| 3.3.1 SOI基片 | 第39-40页 |
| 3.3.2 紫外光刻 | 第40-42页 |
| 3.3.3 电子束曝光 | 第42-43页 |
| 3.3.4 电子束蒸发 | 第43-45页 |
| 3.3.5 刻蚀技术 | 第45-47页 |
| 3.4 纳米机械振子的加工流程 | 第47-51页 |
| 3.4.1 紫外光刻制作外围大电极 | 第48-49页 |
| 3.4.2 电子束光刻制作机械振子区域 | 第49-50页 |
| 3.4.3 悬臂梁图形化和释放 | 第50页 |
| 3.4.4 微纳结构的电镜检查 | 第50-51页 |
| 3.5 分子的自组装 | 第51-55页 |
| 3.5.1 分子自组装加工流程 | 第51-53页 |
| 3.5.2 分子自组装层的鉴定过程 | 第53-55页 |
| 3.6 电迁移制作单分子结 | 第55-57页 |
| 3.7 本章小结 | 第57-59页 |
| 第四章 总结与展望 | 第59-60页 |
| 4.1 总结 | 第59页 |
| 4.2 不足 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第65页 |
