低频响应压电—电磁复合式能量采集器设计制造研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1. 绪论 | 第9-19页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·能量采集器研究概况 | 第10-17页 |
| ·论文研究内容 | 第17-19页 |
| 2. 压电-电磁复合式能量采集器设计原理 | 第19-27页 |
| ·微型能量采集器压电模块工作原理 | 第19-23页 |
| ·压电发电机理 | 第19页 |
| ·压电材料选取 | 第19-22页 |
| ·动力学振动模型分析 | 第22-23页 |
| ·微型能量采集器电磁模块工作原理 | 第23-26页 |
| ·电磁发电机理 | 第23-24页 |
| ·永磁材料选取 | 第24-25页 |
| ·线圈材料选取 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3. 压电-电磁复合式能量采集器整体方案设计 | 第27-40页 |
| ·基础结构设计 | 第27-32页 |
| ·四螺旋梁-单质量块结构设计 | 第28-30页 |
| ·磁感应线圈设计 | 第30-32页 |
| ·微加工工艺设计 | 第32-39页 |
| ·制造工艺技术路线设计 | 第32-33页 |
| ·结构掩膜版图设计 | 第33-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4. 四螺旋梁-单质量块结构微加工制造 | 第40-67页 |
| ·PZT压电薄膜的制备 | 第40-46页 |
| ·PZT压电薄膜制备方法研究 | 第40-41页 |
| ·溶胶-凝胶法制备PZT压电薄膜 | 第41-44页 |
| ·PZT压电薄膜性能测试分析 | 第44-46页 |
| ·四螺旋梁-单质量块结构MEMS加工工艺研究 | 第46-66页 |
| ·PZT压电薄膜图形化 | 第48-53页 |
| ·下电极Pt/Ti层刻蚀 | 第53-55页 |
| ·上电极Au/Ti及磁感应线圈Au/Ti生长 | 第55-56页 |
| ·绝缘层Si3N4沉积 | 第56-58页 |
| ·磁感应线圈端电极引出层Au/Ti生长 | 第58-59页 |
| ·悬臂梁结构正面刻蚀 | 第59-62页 |
| ·背面Si基底刻蚀 | 第62-64页 |
| ·划片 | 第64-65页 |
| ·取片 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 5. 器件的封装及电学测试 | 第67-71页 |
| ·器件结构封装 | 第67-68页 |
| ·测试系统搭建及初步测试分析 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 6. 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·主要研究结论 | 第71-72页 |
| ·主要创新点 | 第72页 |
| ·未来工作展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的研究成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
